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本發(fā)明公開了一種同時制備石墨烯和多孔非晶碳薄膜的方法，包括 S1 對金屬鎳片襯底進(jìn)行超聲清洗，并烘干后放置于管式爐中；S2向管式爐中通入惰性氣體；S3 對管式爐進(jìn)行升溫處理使其達(dá)到750℃～1000℃并保持 10 分鐘～50 分鐘，向管式爐中通入氫氣，并對金屬鎳片襯底進(jìn)行熱處理；S4 向管式爐中通入流量為 20sccm～100sccm 的碳?xì)浠衔?，使得?jīng)過熱處理后的金屬鎳片襯底催化碳?xì)浠衔锪呀庖约版嚻芴己笸瑫r生長石墨烯和非晶碳薄膜；S5 對管式爐進(jìn)行降溫處理，并將生長有石墨烯和非晶碳薄膜的鎳片

本發(fā)明公開了一種自支撐類石墨多孔非晶碳薄膜的制備方法，包括下述步驟：S1：對金屬鎳片襯底進(jìn)行超聲清洗，并烘干后放置于管式爐中；S2：向所述管式爐中通入惰性氣體；S3：對所述管式爐進(jìn)行升溫處理使其達(dá)到 600℃-720℃，向所述管式爐中通入氫氣，并對所述金屬鎳片襯底進(jìn)行熱處理；S4：向所述管式爐中通入碳?xì)浠衔?，使得?jīng)過熱處理后的金屬鎳片襯底催化碳?xì)浠衔锪呀夂笊L非晶碳薄膜；S5：對所述管式爐進(jìn)行降溫處理，并將生長有非晶碳薄膜的鎳片浸泡在腐蝕液中腐蝕掉襯底鎳片后獲得自支撐類石墨多孔非晶碳薄膜。采用本

CIGS薄膜太陽電池具有效率高，無衰退、抗幅射、壽命長等特點(diǎn)，采用非真空技術(shù)可以進(jìn)一步降低這種電池的成本，預(yù)計可達(dá)到0.6$/W。 本項目產(chǎn)品結(jié)構(gòu)為：襯底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al；其中光吸收層CIGS薄膜為p型半導(dǎo)體，其表面貧Cu呈n型與緩沖層CdS和i-ZnO共同成為n層，構(gòu)成淺埋式p-n結(jié)。太陽光照射在電池上產(chǎn)生電子與空穴，被p-n結(jié)的自建電場分離，從而輸出電能。工藝流程：普通鈉鈣玻璃清洗→Mo的濺射沉積→非真空法沉積CIGS薄膜預(yù)置層→快速

場效應(yīng)晶體管（Field Effect Transistor, FET）是芯片與集成電路的基本單元，由金屬電極、半導(dǎo)體電荷傳輸層和絕緣電介質(zhì)層三部分組成。近年來，電氣設(shè)備和電子產(chǎn)品小型化、輕量化、智能化的發(fā)展趨勢對FET等基礎(chǔ)電學(xué)元器件提出了向高性能、微型化、高頻化和柔性化發(fā)展的需求。進(jìn)入21世紀(jì)后，隨著多種具有共軛π鍵體系聚合物和小分子的合成，有機(jī)半導(dǎo)體材料的優(yōu)良電荷傳輸特性已被較為充分地發(fā)掘，分子結(jié)構(gòu)創(chuàng)新的匱乏導(dǎo)致半導(dǎo)體材料電荷傳輸性能難有跨越式的提升。基于這種現(xiàn)狀，西安交通大學(xué)魯廣昊教授課題組將研究重點(diǎn)轉(zhuǎn)向絕緣電介質(zhì)層，通過充分挖掘絕緣介質(zhì)帶電特性形成可控的柵極補(bǔ)償電場，實現(xiàn)FET半導(dǎo)體層電荷傳輸?shù)恼{(diào)控并提高器件性能。近日，前沿院魯廣昊教授課題組與電氣學(xué)院李盛濤教授課題組、理學(xué)院張志成教授課題組、中科院長春應(yīng)用化學(xué)研究所崔冬梅研究員課題組開展合作，通過自由基聚合合成了一種新型絕緣聚合物分子：無規(guī)4-氟代聚苯乙烯（Poly(4-fluorostyrene)，F(xiàn)PS）。該聚合物具有較高的深電荷陷阱密度、高擊穿場強(qiáng)、高熱穩(wěn)定性和疏水性，可實現(xiàn)高度穩(wěn)定的駐極體。以FPS薄膜作為柵極介電層，并以C12-BTBT作為半導(dǎo)體層制備的有機(jī)場效應(yīng)晶體管具有高達(dá)11.2 cm2·V-1·s-1的場效應(yīng)遷移率，高達(dá)107的開/關(guān)比和較小的閾值電壓。與廣泛使用的聚苯乙烯相比，F(xiàn)PS的電子和空穴陷阱密度及陷阱能級均有所上升，帶來6.8×1012cm-2的高帶電量。利用FPS制備的OFET存儲器件可在大于100 V的寬存儲窗口下工作，并具有在空氣環(huán)境中大于一個月的存儲穩(wěn)定性。 該研究成果以“Soluble Poly(4-fluorostyrene): a High-performance Dielectric Electret for Organic Transistors and Memories”為題發(fā)表在國際材料領(lǐng)域權(quán)威期刊Materials Horizons上（影響因子：14.356）。該文第一作者為西安交大前沿院助理教授朱遠(yuǎn)惟博士，通信作者為前沿院魯廣昊教授、電氣學(xué)院李盛濤教授和中科院長春應(yīng)化所劉波副研究員。該工作得到了國家自然科學(xué)基金、陜西省自然科學(xué)基礎(chǔ)研究計劃、國家博士后基金、電力設(shè)備電氣絕緣國家重點(diǎn)實驗室中青年基金及?；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)的資助。論文鏈接為：https://pubs.rsc.org/en/content/articlelanding/2020/mh/d0mh00203h/unauth#!divAbstract課題組網(wǎng)站：http://gr.xjtu.edu.cn/web/guanghaolu/home

以輕質(zhì)高分子聚合物聚酰亞胺（簡稱 PI）為柔性襯底的 CIGS 電池不但保持著玻璃襯底太陽電池的一些優(yōu)良性能，同時還具備不怕摔碰、可卷曲折疊、在制作中可按要求剪裁等特點(diǎn)，具有更廣闊的應(yīng)用前景。PI 薄膜不吸水、絕緣性能好、重量輕（70g/m2）、厚度?。▋H為 0.05mm）、表面光滑及可彎曲等特點(diǎn)，是高功率重量比太陽電池的首選襯底材料，其功率重量比可高達(dá) 2000W/Kg（未封裝），并且由于 PI 襯底 CIGS 電池可實現(xiàn)大面積卷－卷（Roll-to-Roll）連續(xù)化生產(chǎn)，為進(jìn)一步降低光伏電池成本開辟了有效途徑。通過研究低溫生長CIGS 薄膜中 Na 摻雜對材料生長及器件復(fù)合機(jī)制的影響，改善了器件光電性能。柔性聚酰亞胺（PI）CIGS 太陽電池大面積單體電池 2cm×2cm 與 4cm 4cm×4cm 柔性大面積 PI 襯底 CIGS 太陽電池效率分別達(dá) 8%與 7%（由中科院太陽光伏發(fā)電系統(tǒng)和風(fēng)力發(fā)電系統(tǒng)質(zhì)量檢測中心鑒定）。

本發(fā)明公開了一種可提高延展性的柔性電子流體封裝方法，包 括：制得下層和上層封裝結(jié)構(gòu)，這兩個封裝結(jié)構(gòu)保持對稱并在其中央 部位各自具有凹陷延展的區(qū)域；制作延性互連結(jié)構(gòu)，該延性互聯(lián)結(jié)構(gòu) 的整體呈波形分布的曲線結(jié)構(gòu)；將上下層封裝結(jié)構(gòu)對應(yīng)貼合，同時將 延性互連結(jié)構(gòu)封裝在中空微腔體中；最后，將絕緣性流體注射至微腔 體內(nèi)，使其完全填充微腔體并包裹所述延性互連結(jié)構(gòu)，由此完成整體 的流體封裝操作。通過本發(fā)明，能夠顯著提高互連結(jié)構(gòu)的拉伸延展性 能，避免面外翹曲現(xiàn)象，并在便于質(zhì)量操控的同時有效提高互連結(jié)構(gòu) 的穩(wěn)定性。 

本發(fā)明屬于柔性電子生產(chǎn)相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域，并公開了一種用于柔 性膜轉(zhuǎn)移的多自由度機(jī)械手，包括拾取單元、α轉(zhuǎn)動模塊、γ轉(zhuǎn)動模 塊、XYZ 三軸平移模塊、氣路分配單元和視覺定位單元，其中拾取單 元具備繞 Y 軸轉(zhuǎn)動的β轉(zhuǎn)動自由度，并可在軸向和周向上對吸附區(qū)域 進(jìn)行調(diào)整；α、γ轉(zhuǎn)動模塊和 XYZ 三軸平移模塊則分別用于實現(xiàn)機(jī)械 手繞 X 軸和 Z 軸轉(zhuǎn)動的α和γ轉(zhuǎn)動自由度以及 XYZ 三個方向的平動 自由度；氣路分配單元執(zhí)行拾取單元內(nèi)部各個真空氣路的開關(guān)控制和 真空度檢測；視覺定位單元用于實現(xiàn)柔性膜在 XY 平

本發(fā)明提供一種石墨烯包覆的納米銀陣列柔性表面增強(qiáng)拉曼基 底材料，它由柔性濾膜及組裝于其表面的納米銀陣列和緊密包覆于納 米銀陣列表面的石墨烯三部分組成。本發(fā)明提供上述材料的制備方法 及其作為表面增強(qiáng)拉曼基底的應(yīng)用。本發(fā)明提供的石墨烯包覆的納米 銀陣列柔性表面增強(qiáng)拉曼基底材料，具有良好的拉曼增強(qiáng)效果和優(yōu)異 的化學(xué)穩(wěn)定性，同時方便采樣測定。因此，本發(fā)明提供的高穩(wěn)定、大 面積均勻的石墨烯包覆的納米銀陣列，它可作為表面增強(qiáng)拉曼

本發(fā)明屬于柔性器件制備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種基于有序排列扭曲結(jié)構(gòu)柔性可拉伸器件的制備方法，先將柔性高分子襯底進(jìn)行預(yù)拉伸后固定在玻璃片上，并在預(yù)拉伸后的柔性高分子襯底的四個邊緣處制備電極；然后將柔性高分子襯底放置在接電源負(fù)極的環(huán)形金屬收集極上作為收集襯底，將經(jīng)過加工的中空不銹鋼針作為紡絲噴頭；將紡絲溶液注入到紡絲溶液容器中進(jìn)行電紡；再將柔性高分子襯底水平轉(zhuǎn)動90°繼續(xù)電紡后從玻璃片上取下，得到基于有序排列扭曲結(jié)構(gòu)的柔性可拉伸器件；其制備工藝簡單，操作方便，制備的柔性可拉伸器件能分別或同時實現(xiàn)柔性可拉伸器件二維方向應(yīng)力拉伸，且在兩個方向上均能較精確的實現(xiàn)材料的預(yù)應(yīng)變控制，適用范圍廣