電化學加工(宏微二級驅動)工作臺(博實)
產品詳細介紹:電化學加工(宏微二級驅動)工作臺主要應用于電化學加工方面,具有X-Y-Z方向三維宏動和X-Y-Z方向三維微動。宏動平臺采用步進電機結合高品質滾珠絲桿。微動平臺由三臺壓電陶瓷致動器驅動的一維納米級精密定位工作臺MPT-1JRL003通過連接板組合而成。 在驅動中,首先采用步進電機驅動的大行程、低分辨率的機構進行粗定位,實現大行程范圍內快速地微米級定位精度,然后采用壓電陶瓷驅動小行程、高分辨率的微動工作臺在微米級行程范圍實現對粗定位平臺的納米級誤差補償。
哈爾濱工業大學博實精密測控有限責任公司
2021-08-23