高檔超精密磨床及LED劃片裝備
為滿足光電通訊、光學、信息等產(chǎn)業(yè)中小口徑非球面光學玻璃透鏡模具產(chǎn)業(yè)化的需求,研制了小口徑非球面光學玻璃透鏡模具超精密數(shù)控復合機床,具備納米級精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測量補償加工等功能,為小口徑非球面光學透鏡模具的產(chǎn)業(yè)化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm,主軸回轉(zhuǎn)精度50nm;加工對象為微小非球面透鏡及模具;加工口徑10mm以下;加工面形狀精度:PV小于300nm ,工件表面粗糙度小于Ra10nm。應用領域包括集成電路(IC)、發(fā)光二極管(LED)、光學光電、MEMS、NTC、塑封件(QFN、BGA)、電子陶瓷、通訊、醫(yī)療器械等,能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測高及非接觸式測高,刀痕檢測,具有切割深度自動補償,刀片破損補償功能,能保證切割質(zhì)量。
湖南大學
2021-04-11