一種用于柔性膜轉(zhuǎn)移的機(jī)械手控制系統(tǒng)
本發(fā)明屬于柔性電子生產(chǎn)相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域,并公開(kāi)了一種用于柔 性膜轉(zhuǎn)移的機(jī)械手控制系統(tǒng),包括多自由度機(jī)械手、多傳感器反饋單 元和控制單元,其中多自由度機(jī)械手用于對(duì)柔性膜執(zhí)行轉(zhuǎn)移操作;多 傳感器反饋單元包括 CCD 傳感器、激光位移傳感器、重力傳感器組、 真空傳感器、壓力傳感器等,并用于對(duì)機(jī)械手包括位置、姿態(tài)、真空度和接觸力在內(nèi)的多項(xiàng)狀態(tài)指標(biāo)執(zhí)行檢測(cè);控制單元?jiǎng)t基于多傳感器 反饋單元的信息,對(duì)機(jī)械手整個(gè)轉(zhuǎn)移過(guò)程的操作執(zhí)行精確控制,同時(shí) 還可對(duì)拾取頭工作段的吸附面積大小進(jìn)行靈活調(diào)節(jié)。通過(guò)本發(fā)明,可 根據(jù)柔性膜
華中科技大學(xué)
2021-04-14