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用于量子保密通信、近紅外探測(cè)成像、高速量子光通信、激光雷達(dá)探測(cè)。 針對(duì)單光子探測(cè)需求，提取關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)，通過(guò)多次半導(dǎo)體器件仿真優(yōu)化，最終得到外延結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。結(jié)合 13 所 自主外延生長(zhǎng)技術(shù)與精準(zhǔn)的鋅擴(kuò)散方案，最終實(shí)現(xiàn)較為成功的 GM-APD 芯片。該芯片已經(jīng)成功達(dá)到量子保密通信中單光子探測(cè)需求，并在安徽問(wèn)天量子技術(shù)有限公司的產(chǎn)品中得到應(yīng)用。 

本發(fā)明公開(kāi)了一種廣譜成像探測(cè)芯片。包括熱輻射結(jié)構(gòu)和光敏陣列。廣譜入射光波進(jìn)入熱輻射結(jié)構(gòu)后，在納尖表面激勵(lì)產(chǎn)生等離激元，驅(qū)動(dòng)圖形化金屬膜中的自由電子向納尖產(chǎn)生振蕩性集聚，納尖收集的自由電子與等離激元驅(qū)控下涌入的自由電子相疊合，產(chǎn)生壓縮性脈動(dòng)，使電子急劇升溫并向周?chē)沼虬l(fā)射主要成分為可見(jiàn)光的熱電磁輻射，光敏陣列將熱電磁輻射轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)預(yù)處理后得到電子圖像數(shù)據(jù)并輸出。本發(fā)明能將廣譜入射光波基于壓縮在納空間中的高溫

本發(fā)明公開(kāi)了一種多頂針芯片剝離裝置，包括多頂針主體機(jī)構(gòu)， 安裝于 Z 向升降機(jī)構(gòu)上并連接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其包括中心頂針和外圈 頂針，外圈頂針先接觸藍(lán)膜上芯片的外緣實(shí)現(xiàn)預(yù)頂松，然后中心頂針 上升至外圈頂針等高并協(xié)作頂起芯片，完成芯片剝離；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)， 連接多頂針主體機(jī)構(gòu)，用于先后驅(qū)動(dòng)外圈頂針和中心頂針上升以完成 芯片頂起動(dòng)作；Z 向升降機(jī)構(gòu)，安裝于三自由度微調(diào)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)上，停 機(jī)狀態(tài)時(shí)其處于下降位置，工作狀態(tài)其處于抬升位置，為頂起芯片做 好準(zhǔn)備；三自由度微調(diào)對(duì)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，用于對(duì)多頂針主體機(jī)構(gòu)進(jìn)行 X、Y 和 Z 向的微調(diào)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)頂針的快捷更換以及各頂針高度的方便 調(diào)節(jié)，芯片受力均勻，有效減少剝離過(guò)程中的芯片失效。 

本發(fā)明公開(kāi)了一種超薄芯片的制備方法，具體為：首先在硅晶圓表面光刻形成掩膜以暴露出需要減薄的區(qū)域，再采用刻蝕工藝對(duì)硅晶圓進(jìn)行局部減薄，對(duì)減薄后的區(qū)域進(jìn)行芯片后續(xù)工藝處理得到芯片，最后將芯片與硅晶圓分離。本發(fā)明只是部分減薄了硅片，所以硅晶圓的機(jī)械強(qiáng)度仍然可以支持硅片進(jìn)行后續(xù)的加工工藝，相對(duì)于傳統(tǒng)的利用支撐基底來(lái)減薄芯片的方法，簡(jiǎn)化了工藝流程，降低了工藝成本。另外由于不需要用機(jī)械研磨工藝來(lái)進(jìn)行減薄，所以不會(huì)因?yàn)闄C(jī)械研磨對(duì)硅晶圓造成的輕微震動(dòng)而使厚度不能減得過(guò)小，通過(guò)本發(fā)明可以使芯片減薄到比機(jī)械研磨方法更薄的程度。

成果描述：采用微乳液膜捕集鎂、鐵、鋁和氟雜質(zhì)，以達(dá)到工業(yè)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)或提高磷酸到正常使用標(biāo)準(zhǔn)，不需要對(duì)磷酸進(jìn)行濃縮，可適應(yīng)20-40%的濕法磷酸。脫雜凈化實(shí)驗(yàn)已經(jīng)中試，現(xiàn)正優(yōu)化過(guò)程中。然后在此基礎(chǔ)上采用復(fù)合鈉濾膜實(shí)現(xiàn)深度凈化，實(shí)現(xiàn)梯級(jí)利用，達(dá)到食品級(jí)和準(zhǔn)電子級(jí)產(chǎn)品。可根據(jù)不同使用的情況制定磷酸凈化標(biāo)準(zhǔn)，相關(guān)指標(biāo)與國(guó)家熱法磷酸標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)。市場(chǎng)前景分析：可用根據(jù)不同的使用目的將磷酸凈化到不同的程度，使生產(chǎn)多樣化，成本更低。可用于精細(xì)磷化學(xué)品的生產(chǎn)，如五鈉，飼料磷酸鹽，阻燃劑等。與同類(lèi)成果相比的優(yōu)勢(shì)分析：國(guó)際領(lǐng)先

納米石材微晶玉石微晶玉石又稱(chēng)微晶玻璃、晶化石、玉晶石。它是以傳統(tǒng)原材料為基礎(chǔ)，加入特殊化工原料，經(jīng)熔窯熔制、水淬、晶化窯燒結(jié)、磨拋切割，而形成的一種高檔人造納米級(jí)石材。微晶玉石是一種新型綠色環(huán)保材料。它具有板面平整潔凈、色調(diào)均勻一致、紋理清晰雅致、光澤柔和晶瑩、色彩絢麗璀璨、不吸水防污染、耐酸堿抗風(fēng)化、綠色環(huán)保、無(wú)放射性毒害等優(yōu)良特質(zhì)。01 玉石型微晶玻璃02 花崗巖型微晶玻璃板03 大理石型微晶玻璃板04 玉石型微晶玻璃板05 玉石工藝屏風(fēng)06 玉石棋盤(pán)07 防腐耐磨板08 泡沫微晶玻璃09 微晶玻璃閥門(mén)、管道10 家庭裝飾用玉石板材特點(diǎn)不含有對(duì)人體有害的有機(jī)物。原材料來(lái)源廣泛，成本低廉。可加工切削，用于裝飾材料、禮品定制、管路及構(gòu)件等應(yīng)用。具有廣闊的市場(chǎng)前景和巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

1 成果簡(jiǎn)介原料油脂費(fèi)用占生物柴油生產(chǎn)成本的 80％以上，目前原料油脂價(jià)格高居不下并不斷上漲，制約了生物柴油產(chǎn)業(yè)化和商業(yè)化。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)生物柴油的主要原料是大豆油、菜籽油、花生油、棕櫚油、地溝油等。它們與農(nóng)業(yè)爭(zhēng)地，與食品及飼料爭(zhēng)原料，單位生物量的產(chǎn)油率低，生產(chǎn)周期長(zhǎng)，消耗大量的水資源、化肥和能源。 清華大學(xué)發(fā)明了微藻異養(yǎng)發(fā)酵生產(chǎn)生物柴油的新技術(shù)，其技術(shù)特征在于：通過(guò)對(duì)一種特別藻株特殊品系的篩選和代謝途徑的改變，Chlorella protothecoides 0710 strain 由光合自養(yǎng)轉(zhuǎn)變?yōu)榛墚愷B(yǎng)，細(xì)胞由綠變黃，生長(zhǎng)繁殖更快，油脂含量提高 3－4 倍，達(dá)細(xì)胞干重的 61％以上。又將工業(yè)界成熟的發(fā)酵技術(shù)應(yīng)用于高油脂異養(yǎng)微藻的生產(chǎn)，進(jìn)一步提高發(fā)酵規(guī)模和細(xì)胞密度，現(xiàn)細(xì)胞發(fā)酵密度超過(guò)了 100 g/L，獲取了大量異養(yǎng)干藻粉后提取油脂，經(jīng)轉(zhuǎn)酯化反應(yīng)生成了高質(zhì)量的生物柴油。 該技術(shù)的創(chuàng)新點(diǎn)： （ 1）發(fā)明了微藻異養(yǎng)發(fā)酵生產(chǎn)生物柴油新技術(shù)，打通了以糖、淀粉、有機(jī)廢水、二氧圖1 吉化工程新型塔及常規(guī)塔運(yùn)行外觀(guān) 圖2 慶陽(yáng)石化工程新型塔（ 左側(cè)） 及常規(guī)塔（ 右側(cè)）運(yùn)行外觀(guān)化碳等為原料、工業(yè)自動(dòng)化條件下高效生產(chǎn)生物柴油的新途徑； （ 2）異養(yǎng)藻細(xì)胞發(fā)酵產(chǎn)量和油脂含量不斷創(chuàng)造新高（ 細(xì)胞干重 100 g/L，含油量 60％），提高了該技術(shù)工業(yè)化生產(chǎn)的經(jīng)濟(jì)性。 （ 3）在發(fā)酵前引入利用 CO2和光合作用來(lái)減少糖或淀粉的消耗，降低成本同時(shí)減少溫室氣體的排放。該技術(shù)獲 3 項(xiàng)國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利和 2007 年全國(guó)發(fā)明大會(huì)獎(jiǎng)。2 應(yīng)用說(shuō)明應(yīng)用目標(biāo)：與有實(shí)力的企業(yè)界合作，在工業(yè)化規(guī)模上進(jìn)一步降低微藻發(fā)酵過(guò)程的成本，實(shí)現(xiàn)該技術(shù)的商業(yè)化運(yùn)作。 主要生產(chǎn)原料為以下 4 類(lèi)之一：（ 1）二氧化碳；（ 2）甜高粱、甘蔗等糖質(zhì)原料；（ 3）或木薯、玉米等淀粉質(zhì)原料；（ 4）或含糖有機(jī)廢水等。 生產(chǎn)設(shè)備：微藻培養(yǎng)池、光生物反應(yīng)器、工業(yè)發(fā)酵設(shè)備及廠(chǎng)房為主。 生產(chǎn)消耗：電能、蒸汽等（無(wú)污染等環(huán)境問(wèn)題）。 產(chǎn)品應(yīng)用：微藻生物柴油質(zhì)量好，應(yīng)用范圍與目前市場(chǎng)上銷(xiāo)售的柴油完全相同。 投資風(fēng)險(xiǎn)：本技術(shù)創(chuàng)新性強(qiáng)，沒(méi)有前人的實(shí)踐、范例和經(jīng)驗(yàn)；通過(guò)工業(yè)化和規(guī)模化來(lái)實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步降低成本的目標(biāo)；高技術(shù)、高投入、預(yù)期高回報(bào)的同時(shí)也存在投資風(fēng)險(xiǎn)。  圖 1 流程圖3 應(yīng)用說(shuō)明中國(guó)境內(nèi)的生物柴油能源市場(chǎng)等。4 效益分析全世界油脂價(jià)格和液體燃料價(jià)格瘋狂上漲，對(duì)世界經(jīng)濟(jì)、政治和國(guó)家安全等產(chǎn)生重大影響。實(shí)現(xiàn)本技術(shù)商業(yè)化運(yùn)作的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益巨大。5 合作方式雙方共同合作，在工業(yè)化規(guī)模上進(jìn)一步降低微藻發(fā)酵過(guò)程的成本，實(shí)現(xiàn)該技術(shù)的商業(yè)化運(yùn)作。6 所屬行業(yè)領(lǐng)域能源環(huán)境。

技術(shù)較為成熟，包括三個(gè)層次:理論研究已經(jīng)完備成體系;核心算法開(kāi)發(fā)完畢; 開(kāi)發(fā)有實(shí)用的軟件界面程序。該技術(shù)由王建學(xué)教授團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)和維護(hù)，在微網(wǎng)研究 上具有多年積累，發(fā)表了多篇國(guó)際頂級(jí)期刊文章，軟件正在不斷完善中。

 高志良教授團(tuán)隊(duì)與雙聘教授鄺棟明教授團(tuán)隊(duì)合作，在“十三五”國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)和國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目等基金的支持下，發(fā)現(xiàn)了PD-L1+肝癌免疫微環(huán)境存在高度的異質(zhì)性。研究證實(shí)巨噬細(xì)胞和T細(xì)胞釋放的炎性介質(zhì)均參與了PD-L1+肝癌形成，但巨噬細(xì)胞同時(shí)賦予了PD-L1+肝癌可抵抗傳統(tǒng)化療、T細(xì)胞殺傷和免疫檢查點(diǎn)治療的特征。聯(lián)合免疫檢查點(diǎn)治療和巨噬細(xì)胞功能調(diào)控有望成為新型的肝癌治療策略。同時(shí)，上述主體研究結(jié)論同時(shí)在多種人類(lèi)腫瘤中得到驗(yàn)證。

此專(zhuān)利產(chǎn)品是針對(duì)小型供水系統(tǒng)開(kāi)發(fā)的一體化凈水設(shè)備，是傳統(tǒng)一體化凈水設(shè)備的 改進(jìn)和更新?lián)Q代產(chǎn)品，亦可用于中水回用工程。原水投加絮凝劑后依次進(jìn)入凈水器的凝 聚層、絮凝層和過(guò)濾層，歷時(shí) 10～15 分鐘，完成絮凝反應(yīng)、沉淀和過(guò)濾過(guò)程，出水濁 度達(dá)到 0.5NTU 以下，超過(guò)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。主要特性如下： 1.采用特制異型塑料顆粒材料，快速完成凝聚反應(yīng)； 2.采用特制高效陶粒材料，吸污和含污能力強(qiáng)、絮凝效率高； 3.雙濾板結(jié)構(gòu)，分層小膨脹反洗，不亂層，反洗效果好，耗水少； 4.利用巨大的吸附表面積，除有機(jī)物等較傳統(tǒng)工藝比率高； 5.安裝簡(jiǎn)便，全自動(dòng)控制運(yùn)行。