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項目成果/簡介:隨著支配半導體技術數(shù)十年的摩爾定律日益接近其發(fā)展極限，多種功能器件集成被認為是超越摩爾定律延續(xù)集成電路發(fā)展進程的重要途徑之一，這就需要能夠滿足多種功能器件高密度集成的制造技術。多元兼容集成制造技術就是為此而開發(fā)的，該技術通過在更大范圍內(nèi)優(yōu)選結(jié)構(gòu)/功能材料組合，開發(fā)異質(zhì)集成制造工藝，大大拓展了功能微器件創(chuàng)新設計和制造的騰挪空間。經(jīng)過多年探索，目前已形成了涵蓋金屬、聚合物、陶瓷、復合材料的MEMS異質(zhì)異構(gòu)制造技術體系，并在多種類型功能器件研發(fā)中發(fā)揮了關鍵作用，初步展現(xiàn)了其基礎性支撐作用，相關技術獲得2016年度上海市技術發(fā)明一等獎。微系統(tǒng)集成發(fā)展趨勢多元兼容集成制造技術 獲獎情況上海市技術發(fā)明一等獎2016年團隊獲獎國家技術發(fā)明二等獎2008年上海市技術發(fā)明一等獎2007年超薄超快高熱流密度微通道散熱器上海交通大學團隊在長期研究經(jīng)驗和技術積累基礎上，創(chuàng)造性地提出了不同高熱導率材料組合構(gòu)造的復合結(jié)構(gòu)微通道散熱器設計方案，并基于多元兼容集成制造技術完成了多種尺寸樣品研制，其中，熱源面積與常用功率芯片尺度相當?shù)某∩崞骼鋮s能力達到800W/cm2以上，在保留傳統(tǒng)微通道散熱器良好系統(tǒng)兼容性和適用性的基礎上達到了相當高的散熱能力水平，為解決高功率芯片系統(tǒng)超高熱流密度散熱問題提供了一個深具可行性的解決方案。高溫薄膜溫度傳感器研究 發(fā)動機燃燒室等極端惡劣環(huán)境下（高溫、強振動、強腐蝕等）的工作參數(shù)現(xiàn)場監(jiān)測對傳感器技術是嚴峻挑戰(zhàn)，國內(nèi)外研究廣泛。交大團隊基于特種材料微納集成制造技術的長期積累，在高溫絕緣薄膜材料、多層薄膜應力調(diào)控、曲面圖形化和高溫敏感介質(zhì)等技術上取得了一定突破，成功開發(fā)了多種可與現(xiàn)場結(jié)構(gòu)共型的高溫薄膜傳感器，具有體積小、環(huán)境擾動小、響應快、靈敏度高、可分布式安置等優(yōu)點，該團隊已經(jīng)掌握了溫度、應力/應變、熱流等多種高溫狀態(tài)參數(shù)測量技術，適用溫度在800-1300℃之間。薄膜絕緣電阻隨溫度的變化及測試結(jié)構(gòu)高溫薄膜溫度傳感器制造及曲面圖形化技術薄膜溫度傳感器在發(fā)動機不同部位測溫需求無線溫度傳感器測溫系統(tǒng)高性能轉(zhuǎn)接板基于轉(zhuǎn)接板的多芯片封裝是2.5D高密度集成最具可行性的方案之一。但是傳統(tǒng)的硅轉(zhuǎn)接板性價比不高，阻礙了廣泛應用。上海交大團隊基于非硅微加工技術的長期積累，突破了硅轉(zhuǎn)接板絕緣層完整性和再分布層熱隔離的難題，成功研制了漏電流極低的低成本高性能硅轉(zhuǎn)接板。此外，還開發(fā)了復合材料非硅轉(zhuǎn)接板，TCV陶瓷轉(zhuǎn)接板，TGV玻璃轉(zhuǎn)接板等各種三維封裝基板，實驗室能夠針對不同類型器件三維高密度封裝的具體要求，定制開發(fā)不同功能的專用轉(zhuǎn)接板，為多功能、高密度、高功率、低成本封裝提供個性化解決方案。TSV-3D 高密度封裝概念圖 金屬-聚合物-納米復合材料非硅基轉(zhuǎn)接板實物圖片知識產(chǎn)權(quán)類型:發(fā)明專利 、 軟件著作權(quán) 、 集成電路布圖設計技術先進程度:達到國內(nèi)領先水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:國家級

本發(fā)明提供一種識別微絲菌用熒光探針的制備方法，該方法先采用鹵代長碳鏈化合物對咔唑吡啶苯乙烯類菁染料的4-甲基吡啶部分進行修飾，而后再與3-甲酰基-N-乙基咔唑反應合成具有長疏水鏈的熒光探針。本發(fā)明效果為，該探針制備過程中將咔唑吡啶苯乙烯類菁染料的制備和修飾同步化，制備方法簡單，制得的熒光探針背景干擾小，熒光強度高，熒光性質(zhì)穩(wěn)定。利用微絲菌具有疏水表面這一特性，本申請中所制備的具有長疏水鏈的熒光探針可與其結(jié)合，從而達到熒光識別微絲菌的目的。

高性能的相干光源是基礎光物理研究和集成光子學應用的關鍵前提之一。近年來，具有超高品質(zhì)因子的回音壁模式光學微腔已經(jīng)成為研究各種新型高效光源的重要平臺，實驗上已經(jīng)獲得了包括宇稱-時間反演對稱激光、軌道角動量激光和微腔光學頻率梳等。然而，回音壁微腔模式存在的固有手征對稱性導致腔中激光場通常是等強度相向傳輸?shù)模瑖乐刈璧K了諸多光子學器件應用的發(fā)展，例如單向光發(fā)射、全光寄存器和非互易光傳輸?shù)取Ｆ瘢@得具有單向性的回音壁微腔手征激光，通常需要直接打破光學諧振腔的幾何手征對稱性。這種方法得到的激光方向性是固定的，難以動態(tài)調(diào)控其出射性質(zhì)，且對諧振腔的形狀設計和工藝制備要求較高。

本項目將研究CVD金剛石厚膜的制備技術，導絲模的超聲微納加工技術，最終制作出合格的CVD金剛石導絲模，內(nèi)孔尺寸公差<0.1微米，內(nèi)孔和外圓的同心度要求小于5mm，內(nèi)孔表面粗糙度Ra<0.01mm，達到國際先進水平。 本項目涉及金剛石厚膜的制備到CVD金剛石導絲模的關鍵工藝，項目成功后，將研發(fā)成功具有我國自主知識產(chǎn)權(quán)的金剛石導絲模，對我國模具產(chǎn)業(yè)和精密加工技術的發(fā)展具有重要的推動作用。   應用范圍： 該產(chǎn)品應用于電火花線切割機床上使用，可以保證電火花線切割的質(zhì)量和工件的加工精度。  

目前我國鋼鐵、石化、核工業(yè)等高溫設備和管道保溫材料，如玻璃棉、巖/礦棉、陶瓷纖維氈等無機保溫材料，導熱系數(shù)高（0.037～0.05W/(m?K)）、保溫節(jié)能效果差；我國建筑和交通運輸領域使用的聚苯乙烯、聚氨酯等有機保溫材料（導熱系數(shù)0.024～0.03W/(m?K)），耐溫阻燃性能差，嚴重火災頻繁發(fā)生，安全隱患突出。針對鋼鐵、石化、核反應堆等高溫工業(yè)領域?qū)Ω咝阅鼙亟^熱材料及其結(jié)構(gòu)功能一體化的迫切需求。已提出微納米纖維玻璃棉/低氣體滲透膜材真空絕熱復合材料結(jié)構(gòu)設計及制備工藝方法，研發(fā)高速離心噴吹技術

近年來，鋰離子電池在智能電網(wǎng)、航空航天和軍事儲能等高能耗新能源領域的應用不斷擴展，現(xiàn)有商用正極材料體系（包括層狀結(jié)構(gòu)的鎳鈷錳酸鋰、尖晶石結(jié)構(gòu)的錳酸鋰和橄欖石結(jié)構(gòu)的磷酸鐵鋰）的實際比容量已經(jīng)接近各自的理論極限值，無法滿足日益增長的能量密度需求。富鋰錳基正極材料不僅具有高的比容量（250 mA h/g）和能量密度（1000 Wh/kg），而且其較低的鈷和鎳含量能夠有效降低電池的成本。本項目主要通過構(gòu)筑缺陷來增強富鋰錳基正極材料的電化學性能，實現(xiàn)高的首圈庫倫效率、倍率性

本實用新型公開了一種可調(diào)節(jié)夾持力度的可彎曲微創(chuàng)器械，包括依次連接的操作部、撓性延伸部及控制部，操作部包括操作頭及傳動裝置，操作頭包括第一操作件和第二操作件，傳動裝置包括基座、導向槽、齒條、彈性復位件、第一齒輪、第二齒輪、第一轉(zhuǎn)動桿、第一導向桿、第一連桿、第二轉(zhuǎn)動桿、第二導向桿以及第二連桿，撓性延伸部包括形成于中心的貫穿通道以及穿設于貫穿通道內(nèi)的傳動索，傳動索的前端固定于齒條的后端壁，傳動索的后端與控制部相連，使得當齒條在傳動索的作用下于導向槽往復運動時，第一操作件和第二操作件相對于彼此進行開合運動。

微地震監(jiān)測系統(tǒng)是通過監(jiān)測巖體破裂產(chǎn)生的震動或其他物體的震動，對監(jiān)測對象的破壞狀況、安全狀況等作出評價，從而為預報和控制災害提供依據(jù)的成套設備和技術。該監(jiān)測系統(tǒng)可廣泛應用于礦山巖體破裂的定位監(jiān)測，是預測預報頂板垮落、礦井突水、煤與瓦斯突出、沖擊地壓等的有效工具，也可根據(jù)監(jiān)測到的巖體破裂的范圍和破裂程度，確定導水裂隙帶高度、開采上限和巷道的合理位置等重要參數(shù)。微地震監(jiān)測系統(tǒng)也可應用于建筑物安全監(jiān)控、大壩和邊坡穩(wěn)定性監(jiān)測、核廢料儲存峒室穩(wěn)定性監(jiān)測、隧道穩(wěn)定性監(jiān)測以及石油、軍事等領域。研制的適合地面和地下使用的微地震監(jiān)測系統(tǒng)已經(jīng)在山東的兩個煤礦應用，監(jiān)測到了采場周圍巖體的破裂過程和范圍，確定了高應力的范圍，找到了解放層的解放區(qū)域和參數(shù)，為合理布置工作面、控制沖擊地壓提供了重要參數(shù)，解決了煤礦多年來探索的難題。測出了工作面周圍巖體三維破裂參數(shù)，正確確定了導水裂隙帶高度，為提高開采上限提供了科學依據(jù)。監(jiān)測系統(tǒng)和相關技術總體達到了國際先進水平，部分技術達到了國際領先水平。

微流控芯片是空間生物實驗與生命信息探測的最新技術。“微流控芯片” 被美國宇航局譽為空間生物學實驗的“終結(jié)者”。微流控芯片是當前微全分析系統(tǒng)發(fā)展的熱點領域。結(jié)合空間生命特征分子的特點，發(fā)展高集成度芯片和芯片檢測技術將是一項成本低、信息量高、簡便易行的創(chuàng)新技術。此技術的研究和應用將為我國空間生命科學研究提供先進的技術手段。

微地震監(jiān)測系統(tǒng)是通過監(jiān)測巖體破裂產(chǎn)生的震動或其他物體的震動，對監(jiān)測對象的破壞狀況、安全狀況等作出評價，從而為預報和控制災害提供依據(jù)的成套設備和技術。該監(jiān)測系統(tǒng)可廣泛應用于礦山巖體破裂的定位監(jiān)測，是預測預報頂板垮落、礦井突水、煤與瓦斯突出、沖擊地壓等的有效工具，也可根據(jù)監(jiān)測到的巖體破裂的范圍和破裂程度，確定導水裂隙帶高度、開采上限和巷道的合理位置等重要參數(shù)。微地震監(jiān)測系統(tǒng)也可應用于建筑物安全監(jiān)控、大壩和邊坡穩(wěn)定性監(jiān)測、核廢料儲存峒室穩(wěn)定性監(jiān)測、隧道穩(wěn)定性監(jiān)測以及石油、軍事等領域。 研制的適合地面和地下使用的微地震監(jiān)測系統(tǒng)已經(jīng)在山東的兩個煤礦應用，監(jiān)測到了采場周圍巖體的破裂過程和范圍，確定了高應力的范圍，找到了解放層的解放區(qū)域和參數(shù)，為合理布置工作面、控制沖擊地壓提供了重要參數(shù)，解決了煤礦多年來探索的難題。測出了工作面周圍巖體三維破裂參數(shù)，正確確定了導水裂隙帶高度，為提高開采上限提供了科學依據(jù)。監(jiān)測系統(tǒng)和相關技術總體達到了國際先進水平，部分技術達到了國際領先水平。 項目的關鍵數(shù)據(jù)以及性能、指標： 可以在有爆炸危險的環(huán)境應用 測點數(shù)（通道數(shù)）：64 電源：交流電220-240V 數(shù)據(jù)獲取方式：自動記錄并傳輸?shù)娇刂普荆换蛉斯た截?定位精度：〈 10米 定位方式：多點復合定位應用范圍： 礦山領域 礦震與沖擊地壓監(jiān)測 煤與瓦斯突出監(jiān)測 導水裂隙帶高度監(jiān)測與開采上限確定 高應力區(qū)監(jiān)測與巷道合理位置確定 解放層解放參數(shù)監(jiān)測與瓦斯抽放帶確定 頂板垮落過程與支承壓力帶監(jiān)測 其它領域 邊坡穩(wěn)定性監(jiān)測 大壩穩(wěn)定性監(jiān)測 隧道穩(wěn)定性監(jiān)測 核廢料儲存峒室穩(wěn)定性監(jiān)測 邊境動態(tài)監(jiān)測（軍事）