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本發(fā)明公開了一種多頂針芯片剝離裝置，包括多頂針主體機構， 安裝于 Z 向升降機構上并連接旋轉驅動機構，其包括中心頂針和外圈 頂針，外圈頂針先接觸藍膜上芯片的外緣實現(xiàn)預頂松，然后中心頂針 上升至外圈頂針等高并協(xié)作頂起芯片，完成芯片剝離；旋轉驅動機構， 連接多頂針主體機構，用于先后驅動外圈頂針和中心頂針上升以完成 芯片頂起動作；Z 向升降機構，安裝于三自由度微調對準機構上，停 機狀態(tài)時其處于下降位置，工作狀態(tài)其處于抬升位置，為頂起芯片做 好準備；三自由度微調對準機構，用于對多頂針主體機構進行 X、Y 和 Z 向的微調。本發(fā)明可實現(xiàn)頂針的快捷更換以及各頂針高度的方便 調節(jié)，芯片受力均勻，有效減少剝離過程中的芯片失效。 

本發(fā)明公開了一種超薄芯片的制備方法，具體為：首先在硅晶圓表面光刻形成掩膜以暴露出需要減薄的區(qū)域，再采用刻蝕工藝對硅晶圓進行局部減薄，對減薄后的區(qū)域進行芯片后續(xù)工藝處理得到芯片，最后將芯片與硅晶圓分離。本發(fā)明只是部分減薄了硅片，所以硅晶圓的機械強度仍然可以支持硅片進行后續(xù)的加工工藝，相對于傳統(tǒng)的利用支撐基底來減薄芯片的方法，簡化了工藝流程，降低了工藝成本。另外由于不需要用機械研磨工藝來進行減薄，所以不會因為機械研磨對硅晶圓造成的輕微震動而使厚度不能減得過小，通過本發(fā)明可以使芯片減薄到比機械研磨方法更薄的程度。

成果描述：采用微乳液膜捕集鎂、鐵、鋁和氟雜質，以達到工業(yè)級標準或提高磷酸到正常使用標準，不需要對磷酸進行濃縮，可適應20-40%的濕法磷酸。脫雜凈化實驗已經(jīng)中試，現(xiàn)正優(yōu)化過程中。然后在此基礎上采用復合鈉濾膜實現(xiàn)深度凈化，實現(xiàn)梯級利用，達到食品級和準電子級產(chǎn)品。可根據(jù)不同使用的情況制定磷酸凈化標準，相關指標與國家熱法磷酸標準相當。市場前景分析：可用根據(jù)不同的使用目的將磷酸凈化到不同的程度，使生產(chǎn)多樣化，成本更低。可用于精細磷化學品的生產(chǎn)，如五鈉，飼料磷酸鹽，阻燃劑等。與同類成果相比的優(yōu)勢分析：國際領先

納米石材微晶玉石微晶玉石又稱微晶玻璃、晶化石、玉晶石。它是以傳統(tǒng)原材料為基礎，加入特殊化工原料，經(jīng)熔窯熔制、水淬、晶化窯燒結、磨拋切割，而形成的一種高檔人造納米級石材。微晶玉石是一種新型綠色環(huán)保材料。它具有板面平整潔凈、色調均勻一致、紋理清晰雅致、光澤柔和晶瑩、色彩絢麗璀璨、不吸水防污染、耐酸堿抗風化、綠色環(huán)保、無放射性毒害等優(yōu)良特質。01 玉石型微晶玻璃02 花崗巖型微晶玻璃板03 大理石型微晶玻璃板04 玉石型微晶玻璃板05 玉石工藝屏風06 玉石棋盤07 防腐耐磨板08 泡沫微晶玻璃09 微晶玻璃閥門、管道10 家庭裝飾用玉石板材特點不含有對人體有害的有機物。原材料來源廣泛，成本低廉。可加工切削，用于裝飾材料、禮品定制、管路及構件等應用。具有廣闊的市場前景和巨大的經(jīng)濟效益和社會效益。

1 成果簡介原料油脂費用占生物柴油生產(chǎn)成本的 80％以上，目前原料油脂價格高居不下并不斷上漲，制約了生物柴油產(chǎn)業(yè)化和商業(yè)化。國內外生產(chǎn)生物柴油的主要原料是大豆油、菜籽油、花生油、棕櫚油、地溝油等。它們與農業(yè)爭地，與食品及飼料爭原料，單位生物量的產(chǎn)油率低，生產(chǎn)周期長，消耗大量的水資源、化肥和能源。 清華大學發(fā)明了微藻異養(yǎng)發(fā)酵生產(chǎn)生物柴油的新技術，其技術特征在于：通過對一種特別藻株特殊品系的篩選和代謝途徑的改變，Chlorella protothecoides 0710 strain 由光合自養(yǎng)轉變?yōu)榛墚愷B(yǎng)，細胞由綠變黃，生長繁殖更快，油脂含量提高 3－4 倍，達細胞干重的 61％以上。又將工業(yè)界成熟的發(fā)酵技術應用于高油脂異養(yǎng)微藻的生產(chǎn)，進一步提高發(fā)酵規(guī)模和細胞密度，現(xiàn)細胞發(fā)酵密度超過了 100 g/L，獲取了大量異養(yǎng)干藻粉后提取油脂，經(jīng)轉酯化反應生成了高質量的生物柴油。 該技術的創(chuàng)新點： （ 1）發(fā)明了微藻異養(yǎng)發(fā)酵生產(chǎn)生物柴油新技術，打通了以糖、淀粉、有機廢水、二氧圖1 吉化工程新型塔及常規(guī)塔運行外觀 圖2 慶陽石化工程新型塔（ 左側） 及常規(guī)塔（ 右側）運行外觀化碳等為原料、工業(yè)自動化條件下高效生產(chǎn)生物柴油的新途徑； （ 2）異養(yǎng)藻細胞發(fā)酵產(chǎn)量和油脂含量不斷創(chuàng)造新高（ 細胞干重 100 g/L，含油量 60％），提高了該技術工業(yè)化生產(chǎn)的經(jīng)濟性。 （ 3）在發(fā)酵前引入利用 CO2和光合作用來減少糖或淀粉的消耗，降低成本同時減少溫室氣體的排放。該技術獲 3 項國家發(fā)明專利和 2007 年全國發(fā)明大會獎。2 應用說明應用目標：與有實力的企業(yè)界合作，在工業(yè)化規(guī)模上進一步降低微藻發(fā)酵過程的成本，實現(xiàn)該技術的商業(yè)化運作。 主要生產(chǎn)原料為以下 4 類之一：（ 1）二氧化碳；（ 2）甜高粱、甘蔗等糖質原料；（ 3）或木薯、玉米等淀粉質原料；（ 4）或含糖有機廢水等。 生產(chǎn)設備：微藻培養(yǎng)池、光生物反應器、工業(yè)發(fā)酵設備及廠房為主。 生產(chǎn)消耗：電能、蒸汽等（無污染等環(huán)境問題）。 產(chǎn)品應用：微藻生物柴油質量好，應用范圍與目前市場上銷售的柴油完全相同。 投資風險：本技術創(chuàng)新性強，沒有前人的實踐、范例和經(jīng)驗；通過工業(yè)化和規(guī)模化來實現(xiàn)進一步降低成本的目標；高技術、高投入、預期高回報的同時也存在投資風險。  圖 1 流程圖3 應用說明中國境內的生物柴油能源市場等。4 效益分析全世界油脂價格和液體燃料價格瘋狂上漲，對世界經(jīng)濟、政治和國家安全等產(chǎn)生重大影響。實現(xiàn)本技術商業(yè)化運作的經(jīng)濟效益和社會效益巨大。5 合作方式雙方共同合作，在工業(yè)化規(guī)模上進一步降低微藻發(fā)酵過程的成本，實現(xiàn)該技術的商業(yè)化運作。6 所屬行業(yè)領域能源環(huán)境。

技術較為成熟，包括三個層次:理論研究已經(jīng)完備成體系;核心算法開發(fā)完畢; 開發(fā)有實用的軟件界面程序。該技術由王建學教授團隊開發(fā)和維護，在微網(wǎng)研究 上具有多年積累，發(fā)表了多篇國際頂級期刊文章，軟件正在不斷完善中。

 高志良教授團隊與雙聘教授鄺棟明教授團隊合作，在“十三五”國家科技重大專項和國家自然科學基金重點項目等基金的支持下，發(fā)現(xiàn)了PD-L1+肝癌免疫微環(huán)境存在高度的異質性。研究證實巨噬細胞和T細胞釋放的炎性介質均參與了PD-L1+肝癌形成，但巨噬細胞同時賦予了PD-L1+肝癌可抵抗傳統(tǒng)化療、T細胞殺傷和免疫檢查點治療的特征。聯(lián)合免疫檢查點治療和巨噬細胞功能調控有望成為新型的肝癌治療策略。同時，上述主體研究結論同時在多種人類腫瘤中得到驗證。

此專利產(chǎn)品是針對小型供水系統(tǒng)開發(fā)的一體化凈水設備，是傳統(tǒng)一體化凈水設備的 改進和更新?lián)Q代產(chǎn)品，亦可用于中水回用工程。原水投加絮凝劑后依次進入凈水器的凝 聚層、絮凝層和過濾層，歷時 10～15 分鐘，完成絮凝反應、沉淀和過濾過程，出水濁 度達到 0.5NTU 以下，超過國家標準要求。主要特性如下： 1.采用特制異型塑料顆粒材料，快速完成凝聚反應； 2.采用特制高效陶粒材料，吸污和含污能力強、絮凝效率高； 3.雙濾板結構，分層小膨脹反洗，不亂層，反洗效果好，耗水少； 4.利用巨大的吸附表面積，除有機物等較傳統(tǒng)工藝比率高； 5.安裝簡便，全自動控制運行。

研發(fā)的電外科器械適應于腔鏡微創(chuàng)手術，具有主體直徑小、多自由度、防粘連、絕緣絕熱封裝的優(yōu)點，基于輸出功率精確可調技術實現(xiàn)對組織的精確切割，使周圍健康組織的損傷降到最低限度，達到切割速度快、止血效果好的目的，并實現(xiàn)閉環(huán)能量反饋控制新技術，可用于血管結扎和組織縫合。所研制的電外科管腔組織閉合器，能夠實現(xiàn)功率自適應輸出、閉合血管、淋巴管等管腔組織。

以化痰理氣為治則，以《金匱要略》半夏厚樸湯古方加減而成藥，將原藥材納米粉碎技術后作為口服制劑用于治療慢性咽炎。