微型濕度傳感器
項目成果/簡介:自主設計研發,采用獨創的器件結構和特有的感濕介質及其制備技術。與同類產品相比的優勢:濕滯小;芯片面積小(~3mmx3mm);響應速度快(對30%-70%RH濕度階躍變化的響應時間為~1.0s);100℃以上高溫耐受性好;長期穩定性好(常溫環境中放置1年特性無明顯變化)。采用常規微電子工藝制作,易于大批量生產。掌握全套制備工藝和關鍵工藝技術,達到量產水平。已獲發明專利,具有完全知識產權。應用范圍:便于與其它部件集成,適合于便攜式、移動式濕度檢測或惡劣環境的濕度檢測,可用于農業、氣象、高溫/有毒環境、狹小/密閉環境的濕度檢測。可利用互聯網、物聯網等應用技術平臺組成檢測網絡,應用潛力巨大。項目階段:已用于新能源汽車電池模組的濕度檢測(因電池壽命受濕度的影響大)。知識產權類型:發明專利知識產權編號:ZL201010535361.8、ZL201010272929.1技術成熟度:可以量產技術先進程度:達到國內領先水平成果獲得方式:獨立研究獲得政府支持情況:無
蘭州大學
2021-04-10