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本發(fā)明公開了一種用于芯片倒裝的多自由度鍵合頭，包括安裝立板、對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)和調(diào)平機(jī)構(gòu)，其中對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括縱向設(shè)置在安裝立板上部的 Z 向模組和橫向設(shè)置在 Z 向模組上的支架，并在 Z 向電機(jī)和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的配合驅(qū)動下實現(xiàn)鍵合頭相對于 Z 軸方向的對準(zhǔn)運(yùn)動；調(diào)平機(jī)構(gòu)包括固定設(shè)置在支架下側(cè)的上平臺、帶有吸嘴的下平臺和設(shè)置在上下平臺之間的三個支鏈結(jié)構(gòu)，其中調(diào)平中心鏈的兩端分別通過轉(zhuǎn)動副與上下平臺相連，分布在中心鏈兩側(cè)的兩個調(diào)平側(cè)鏈各自配備有作為調(diào)節(jié)動力輸入的移動副，且其上下端分布通過多個轉(zhuǎn)動副與上下平臺相連。通過本發(fā)

本發(fā)明屬于芯片貼裝工藝相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用于芯片 轉(zhuǎn)移的倒裝鍵合控制方法，主要包括：基于大轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和晶元盤 斜視相機(jī)的觀測和配合，對芯片從晶元盤至大轉(zhuǎn)盤單元的吸附轉(zhuǎn)移執(zhí) 行角度及位置控制；基于大轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤側(cè)視相機(jī)的觀測和 配合，對芯片從大轉(zhuǎn)盤單元至小轉(zhuǎn)盤單元的拾取轉(zhuǎn)移執(zhí)行角度及位置·108·控制；以及基于小轉(zhuǎn)盤仰視相機(jī)和小轉(zhuǎn)盤俯視相機(jī)的觀測和配合，對 芯片至基板的貼合過程執(zhí)行相應(yīng)控制。通過本發(fā)明，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)芯 片高效倒裝鍵合整個過程中芯片在位置及角度

長期從事巖體強(qiáng)度理論及地下結(jié)構(gòu)全壽命設(shè)計方法、地下空間防災(zāi)安全和智慧地下基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的研究，同濟(jì)大學(xué)土木工程學(xué)院朱合華教授是國際上較早開展數(shù)字地下空間與工程（DUSE）研究的學(xué)者之一。經(jīng)過近20年的努力，朱合華團(tuán)隊成員齊心協(xié)力構(gòu)建起數(shù)字地下空間的理論體系、工程方法和數(shù)據(jù)庫，初步完成了數(shù)字化地下體系建設(shè)，構(gòu)建出“工程數(shù)字化”創(chuàng)新技術(shù)核心，已經(jīng)在城市軌道交通、高速公路等領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。朱合華被國際同行認(rèn)為是“城市基礎(chǔ)設(shè)施規(guī)劃、設(shè)計、施工和維護(hù)信息集成方法的國際開拓者之一。  2021年中國工程院新增院士中，同濟(jì)大學(xué)土木工程學(xué)院朱合華教授當(dāng)選。 誤打誤撞與數(shù)字化結(jié)緣 　　1979年，朱合華進(jìn)入重慶大學(xué)化學(xué)礦開采專業(yè)學(xué)習(xí)，開始接觸計算機(jī)編程語言。1983年9月成為重大碩士研究生后，他開始深入與計算機(jī)應(yīng)用打交道，師從李通林教授，完成了“圍巖不連續(xù)面非線性效應(yīng)對巷道穩(wěn)定性影響分析”的碩士論文。 　　1986年9月，朱合華考入同濟(jì)大學(xué)，師從孫鈞、楊林德2位恩師攻讀結(jié)構(gòu)工程專業(yè)（地下結(jié)構(gòu)方向）博士，論文題目為《隧道掘進(jìn)面時空效應(yīng)研究——邊界元法若干理論與工程應(yīng)用》。 　　從此，在朱合華的學(xué)術(shù)世界中，計算機(jī)技術(shù)、土木工程就成了形影不離的“伙伴”，他開辟了數(shù)字化的研究方向。 　　1993年7月，朱合華到日本大阪土質(zhì)試驗所和京都大學(xué)從事軟土地下工程研究，進(jìn)一步運(yùn)用有限元數(shù)值方法進(jìn)行軟土盾構(gòu)隧道管片襯砌分析、地下工程施工動態(tài)反演等。 　　上世紀(jì)90年代初，日本快速發(fā)展的地下基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，為他的研究工作提供了大量的室內(nèi)和現(xiàn)場試驗的工程數(shù)據(jù)。 　　至今，朱合華還記得這樣的場景：工作單位長期聘請的幾位工作人員，持續(xù)將大阪灣的三維地質(zhì)數(shù)據(jù)輸入計算機(jī)中，形成了大阪灣的地質(zhì)、地震數(shù)據(jù)庫信息系統(tǒng)，該信息系統(tǒng)在日本國內(nèi)具有重要的影響。 　　大阪土質(zhì)試驗所所長巖崎先生告訴他：“巖土工程師一定要與地層交朋友！”這個叮囑也促成他歸國后迅即開展土木與信息學(xué)科交叉的研究。朱合華在日本期間創(chuàng)建的用于管片襯砌設(shè)計分析的梁-接頭（縫）不連續(xù)模型，后來也被納入了我國國家標(biāo)準(zhǔn)。 　　上世紀(jì)90年代末，朱合華在同濟(jì)附近的小書攤上發(fā)現(xiàn)了當(dāng)時的暢銷書——《數(shù)字化生存》，“數(shù)字”二字縈繞在他腦海，后來他又在《文匯報》上讀到了與“數(shù)字地球”概念有關(guān)的文章。當(dāng)《巖土工程界》期刊向他約稿時，朱合華撰寫了《從數(shù)字地球到數(shù)字地層——巖土工程發(fā)展新思維》一文，從此打開地下空間與工程數(shù)字化研究的大門。 推動數(shù)字化在工程中的應(yīng)用 　　1999年，朱合華牽頭的“城市三維地層信息管理系統(tǒng)的開發(fā)與應(yīng)用”獲批上海市教委曙光計劃，經(jīng)過3年的潛心研究，項目驗收得到了專家們的高度評價，成為團(tuán)隊數(shù)字化研究工作布局的起點(diǎn)。朱合華團(tuán)隊的工作成為了2004年上海先后啟動的29個重大科技專項之—，也是城市地下空間信息平臺建設(shè)和國土資源部與上海市聯(lián)合資助的三維地質(zhì)調(diào)查項目。 　　廈門翔安海底隧道是中國內(nèi)地第一條海底隧道，全長8.695千米，跨海部分全長6.05千米，最大深度達(dá)到70米，相當(dāng)于18層樓高。隧道還要在四周一片漆黑無方向的地下施工，所經(jīng)之地地質(zhì)狀況極其復(fù)雜。朱合華團(tuán)隊的介入，使得這一高難度項目成為了我國跨海隧道的一項示范工程。 　　近年來，朱合華團(tuán)隊的研究領(lǐng)域遍布數(shù)字地下空間、數(shù)字化工程兩大園地，數(shù)字地下空間研究成果在上海世博地下空間、常州地下空間、延安新城地下基礎(chǔ)設(shè)施等得到應(yīng)用，數(shù)字化工程的研究成果在廣州龍頭山雙洞八車道公路隧道、淮南望峰崗煤礦、上海長江隧道、世博500kV地下變電站和電力隧道、上海地鐵一號線結(jié)構(gòu)維護(hù)、上海中心深基坑等項目建設(shè)得到應(yīng)用。 　　圍繞這些工程，團(tuán)隊相繼研究開發(fā)出“復(fù)合纖維和預(yù)應(yīng)力管片結(jié)構(gòu)技術(shù)”“盾構(gòu)地層適應(yīng)性理論和試驗方法”“大斷面、高水壓、近間距下盾構(gòu)施工微擾動控制技術(shù)”等一系列方法與技術(shù)，解決了復(fù)雜環(huán)境下地下建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計分析、施工安全與控制的一個又一個難題，主持的項目“軟土盾構(gòu)隧道設(shè)計理論與施工控制技術(shù)及應(yīng)用”獲2008年國家科技進(jìn)步獎二等獎。 　　朱合華又針對大規(guī)模、集群化的地下空間的建造難題，組織國內(nèi)相關(guān)單位聯(lián)合攻關(guān)。他主持的項目“城市高密集區(qū)大規(guī)模地下空間建造關(guān)鍵技術(shù)及其集成示范”，2016年獲國家科技進(jìn)步獎二等獎。 　　數(shù)字化地下課題與工程的“比翼雙飛”，朱合華團(tuán)隊實現(xiàn)了基礎(chǔ)理論和前沿交叉研究的良性循環(huán)。他們提出了地下空間工程全壽命數(shù)據(jù)采集—表達(dá)—分析—服務(wù)的數(shù)字化范式，開辟了數(shù)字地下空間工程新方向，攻克了“建造動態(tài)精細(xì)調(diào)控、運(yùn)維快速精準(zhǔn)評價”難題，創(chuàng)建了地下三維動態(tài)信息表達(dá)與分析的理論方法；攻克了安全建造的動態(tài)精細(xì)調(diào)控技術(shù)，突破了高效運(yùn)維的快速精準(zhǔn)評價技術(shù)。研究成果成功應(yīng)用于上海長江通道、貴州高速公路網(wǎng)、上海地鐵網(wǎng)等重大工程。 　　2015年，朱合華因在數(shù)字地下空間與工程方面的成就獲得第44屆德國洪堡研究獎，他是中國土木工程界到目前為止的唯一獲獎?wù)摺?首創(chuàng)基礎(chǔ)設(shè)施智慧服務(wù)系統(tǒng) 　　朱合華團(tuán)隊經(jīng)過長期思考和一年多的充分討論，創(chuàng)建了基礎(chǔ)設(shè)施智慧服務(wù)系統(tǒng)iS3 （infrastructure Smart Service System， 2013），即基礎(chǔ)設(shè)施全壽命數(shù)據(jù)采集、處理、表達(dá)、分析的一體化智慧決策服務(wù)系統(tǒng)。該系統(tǒng)從廣義工程應(yīng)用場景出發(fā)，以信息流為主線，采用面向服務(wù)的組件式框架和微服務(wù)技術(shù)架構(gòu)的系統(tǒng)平臺，集先進(jìn)性、開放性和實用性為一體，是國際上第一個開源的基礎(chǔ)設(shè)施智慧服務(wù)系統(tǒng)。 　　因為研究成績突出，朱合華的影響日漸擴(kuò)大。日本、新加坡、英國、美國、韓國等國都留下了他的“中國好聲音”；2010年，他在上海創(chuàng)辦了信息巖土工程技術(shù)國際學(xué)術(shù)會議，該會議現(xiàn)已成為國際信息巖土工程領(lǐng)域的重要系列會議；2017年值同濟(jì)110周年校慶之時，成立了中國智慧基礎(chǔ)設(shè)施聯(lián)盟暨全球研究中心，已吸引世界170多家單位參與。 　　在數(shù)字化轉(zhuǎn)型和智能建造的大潮中，如何借助現(xiàn)代信息技術(shù)手段，在人跡罕至的高山峻嶺地區(qū)修建地下交通基礎(chǔ)設(shè)施？朱合華提出開展巖體隧道動態(tài)設(shè)計的遠(yuǎn)程診斷分析，即將iS3平臺作為數(shù)字底座，實現(xiàn)了基于數(shù)字孿生技術(shù)的巖體隧道支護(hù)的三維動態(tài)設(shè)計技術(shù)。三維動態(tài)設(shè)計技術(shù)成功應(yīng)用于四川峨漢大峽谷隧道（最大埋深1940米，世界最深的公路隧道）施工中，僅用10分鐘完成了現(xiàn)場三維遠(yuǎn)程實時動態(tài)支護(hù)設(shè)計，這在國際上首次實現(xiàn)，是隧道動態(tài)設(shè)計的重大技術(shù)突破。 　　今天， “土木信息工程”已成為《中國大百科全書》第三版土木工程學(xué)科的分支之一，朱合華盼望著數(shù)字化轉(zhuǎn)型背景下的“土木信息工程”學(xué)科未來繼續(xù)能茁壯成長。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹型號：HD-I5506E 背光類型：LED ，顯示尺寸：55”顯示比例：16：9可視角度：178°物理解析度：1920*1080pixel圖像制式/聲音制式：PAL/DK,I音視頻輸入/輸出：    輸入：1個RF、1個USB播放接口+1個USB紅外接口、3個HDMI端口、1路YPbPr/YCbCr/音頻、1個VGA輸入+1個立體聲音頻輸入、1路AV復(fù)合、1路RS232端口    輸出：1路AV輸出、1路立體聲音頻多媒體功能：    視頻格式：MPEG1、MPEG2、MPEG4、H264、RM、RMVB、MOV、MJPEG、VC1、Divx、FLV(支持1080P高清解碼）    圖片格式：JPEG、BMP、PNG    音頻格式:WMA、MP3、M4A、（AAC）功耗：標(biāo)準(zhǔn)功耗：<150W，待機(jī)功耗工作電壓：AC100-240V，50/60Hz觸摸面材質(zhì)：防眩光鋼化玻璃感應(yīng)方式：紅外觸摸感應(yīng)技術(shù)特性：HID免驅(qū)觸摸點(diǎn)數(shù)：多點(diǎn)觸控，多點(diǎn)書寫書寫方式：手指或書寫筆觸摸分辨率：32767*32767掃描速度：5ms光標(biāo)速度：125點(diǎn)/s定位精度：0.1mm通訊接口：USB存儲溫度/濕度:-20℃~60℃,10%~90%工作溫度/濕度:0℃~50℃,10%~90%安裝方式:壁掛/支架整機(jī)尺寸:1297*779*67mm重量:約47KG 

"氯乙烯(VCM)主要用于合成聚氯乙烯樹脂(PVC)。目前我國氯乙烯生產(chǎn)主要通過乙炔法生產(chǎn)。然而，乙炔法一直采用劇毒的氯化汞催化劑，嚴(yán)重制約著乙炔法的可持續(xù)發(fā)展。Au催化劑被眾多研究者認(rèn)為是最有可能工業(yè)化的非汞催化劑。本研究制備了一種促進(jìn)型Au基催化劑，結(jié)果表明該催化劑對Au活性物種的失活、催化劑載體表面的積碳消除作用有明顯的促進(jìn)效應(yīng)。穩(wěn)定性考評結(jié)果顯示，在工業(yè)條件下，氯乙烯選擇性為100%，預(yù)估壽命超過3000 h。相關(guān)研究結(jié)果已申請多項中國專利。 項目已完成實驗室小試和催化劑組成，載體等參數(shù)的優(yōu)化和催化劑放大制備。擬應(yīng)用于全國層面的氯堿行業(yè)替代劇毒氯化汞催化劑，即煤基乙炔氫氯化合成氯乙烯單體過程中的關(guān)鍵催化劑，在不改變原有乙炔氫氯化工業(yè)反應(yīng)條件前體下僅替換現(xiàn)有氯化汞催化劑即可，具有較好的社會效益。"

異丁烯是一種重要的有機(jī)化工原料，在用于合成甲基丙烯酸、丁基橡膠、聚異丁烯、抗 氧劑、醫(yī)藥中間體和農(nóng)藥中間體等化工產(chǎn)品時，對其純度要求相當(dāng)高，需要大量復(fù)雜的分離過 程或酸萃取、吸附分離等得以實現(xiàn)。異丁烯主要來自于石腦油蒸汽裂解制乙烯裝置和煉油廠催 化裂化裝置的碳四餾分。異丁烯生產(chǎn)工藝主要有硫酸抽提法、分子篩吸附法、異丁烷脫氫法、 叔丁醇脫水法和MTBE裂解法等。MTBE裂解生產(chǎn)異丁烯技術(shù)是一種技術(shù)先進(jìn)和經(jīng)濟(jì)可行的生 產(chǎn)工藝，具有裝置獨(dú)立性強(qiáng)、生產(chǎn)過程無污染和無腐蝕、操作條件溫和、單程轉(zhuǎn)化率高和產(chǎn)品 純度高等優(yōu)點(diǎn)。本生產(chǎn)技術(shù)具有反應(yīng)條件溫和，在裂解過程中不需要添加水蒸汽等惰性物質(zhì)， 能耗低，設(shè)備利用率高等優(yōu)點(diǎn)，同時還具有高的MTBE轉(zhuǎn)化率、高的異丁烯選擇性和甲醇選擇 性。該生產(chǎn)技術(shù)的反應(yīng)溫度為150~180℃，反應(yīng)壓力為3.5~4atm，重量空速為1.5~2h-1，轉(zhuǎn)化率 ≥97％，異丁烯選擇性≥99.5％，甲醇選擇性≥98％，催化劑壽命超過8000h。

我國目前工業(yè)副產(chǎn)氯化氫總量達(dá)380萬噸/年，隨著MDI、TDI、甲烷氯化物等涉氯產(chǎn)品的 大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)和氯堿行業(yè)的發(fā)展，預(yù)計未來5年內(nèi)副產(chǎn)氯化氫總量將達(dá)到500萬噸/年，大量副產(chǎn) 氯化氫的循環(huán)利用問題已成為制約聚氨酯、氯堿、有機(jī)氟行業(yè)、農(nóng)藥、醫(yī)藥化工等眾多行業(yè)發(fā) 展的共性難題。以氯化氫為原料生產(chǎn)氯氣，實現(xiàn)氯資源循環(huán)利用，能夠有效解決副產(chǎn)氯化氫問 題，打破國外技術(shù)壟斷，促進(jìn)新興產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展和氯堿行業(yè)的優(yōu)化升級。我們開發(fā)了具有自 主知識產(chǎn)權(quán)的高性能的銅基催化劑，在單管試驗裝置上連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行9600小時的基礎(chǔ)上，建成 了國內(nèi)首套千噸級中試裝置，氯化氫的轉(zhuǎn)化率超過80%，為2016年在上海化工區(qū)建成10萬噸級 生產(chǎn)裝置奠定了基礎(chǔ)，該項目已被列入上海市科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化項目，將使我國成為全球 第二個擁有氯化氫催化氧化制氯氣技術(shù)的國家。

異丁烯是一種重要的有機(jī)化工原料，在用于合成丁基橡膠、聚異丁烯、甲基丙烯酸、抗氧劑、醫(yī)藥中間體和農(nóng)藥中間體等化工產(chǎn)品時，對其純度的要求相當(dāng)高，需要大量復(fù)雜的分離過程或酸萃取、吸附分離等得以實現(xiàn)。由于異丁烯的下游產(chǎn)品很多，異丁烯在中國的需求量很大，市場競爭也十分激烈，主要來自于蒸汽裂解和催化裂化產(chǎn)品中的碳四餾分，工業(yè)上生產(chǎn)異丁烯的傳統(tǒng)工藝有硫酸抽提、分子篩吸附、叔丁醇脫水等。甲基叔丁基醚（MTBE）裂解生產(chǎn)異丁烯技術(shù)是一種技術(shù)先進(jìn)和經(jīng)濟(jì)可行的工藝，與傳統(tǒng)工藝相比，具有無污染、無腐蝕、產(chǎn)品純度高、單程轉(zhuǎn)化率高、裝置獨(dú)立性強(qiáng)等特點(diǎn)。本生產(chǎn)技術(shù)具有反應(yīng)溫度低，在裂解過程中不需要添加水蒸汽等惰性物質(zhì)，能耗低，設(shè)備利用率高等優(yōu)點(diǎn)，同時還具有高的MTBE轉(zhuǎn)化率、高的異丁烯選擇性和甲醇選擇性。該生產(chǎn)技術(shù)的反應(yīng)溫度為150～180℃，反應(yīng)壓力為3.5～4atm，重量空速為1.5/h，轉(zhuǎn)化率≥97％，異丁烯選擇性≥99％，甲醇選擇性≥98 ％，催化劑壽命超過8000小時。

異丁烯是一種重要的有機(jī)化工原料，在用于合成丁基橡膠、聚異丁烯、甲基丙烯酸、抗氧劑、醫(yī)藥中間體和農(nóng)藥中間體等化工產(chǎn)品時，對其純度的要求相當(dāng)高，需要大量復(fù)雜的分離過程或酸萃取、吸附分離等得以實現(xiàn)。由于異丁烯的下游產(chǎn)品很多，異丁烯在中國的需求量很大，市場競爭也十分激烈，主要來自于蒸汽裂解和催化裂化產(chǎn)品中的碳四餾分，工業(yè)上生產(chǎn)異丁烯的傳統(tǒng)工藝有硫酸抽提、分子篩吸附、叔丁醇脫水等。甲基叔丁基醚（MTBE）裂解生產(chǎn)異丁烯技術(shù)是一種技術(shù)先進(jìn)和經(jīng)濟(jì)可行的工藝，與傳統(tǒng)工藝相比，具有無污染、無腐蝕、產(chǎn)品純度高、單程轉(zhuǎn)化率高、裝置獨(dú)立性強(qiáng)等特點(diǎn)。本生產(chǎn)技術(shù)具有反應(yīng)溫度低，在裂解過程中不需要添加水蒸汽等惰性物質(zhì)，能耗低，設(shè)備利用率高等優(yōu)點(diǎn)，同時還具有高的MTBE轉(zhuǎn)化率、高的異丁烯選擇性和甲醇選擇性。該生產(chǎn)技術(shù)的反應(yīng)溫度為150～180℃，反應(yīng)壓力為3.5～4atm，重量空速為1.5/h，轉(zhuǎn)化率≥97％，異丁烯選擇性≥99％，甲醇選擇性≥98％，催化劑壽命超過8000小時。授權(quán)中國發(fā)明專利2項（ZL200610030973.5和ZL02151148.9）。

本發(fā)明公開了一種高溫超導(dǎo)磁體線圈及其繞制工藝。線圈包括 環(huán)氧筒和多層線圈單元，各線圈單元均由依次布置的低溫膠層、聚酰 亞胺薄膜層和超導(dǎo)帶材層組成。首先將超導(dǎo)線圈的骨架固定好并對繞 制位置做好標(biāo)記，在骨架表面均勻涂抹低溫膠并用聚酰亞胺薄膜纏繞， 然后等間距鋪設(shè)聚酰亞胺帶，拉緊固定；準(zhǔn)備好帶材繞線盤之后，將進(jìn)線端固定于骨架表面，均勻密繞一層超導(dǎo)帶材，完成后在帶材表面 涂上一層低溫膠，同時纏繞一層聚酰亞胺薄膜，并將聚酰亞胺帶拉緊、 回鋪，重復(fù)以上操作至完成整個線圈的繞制。本發(fā)明保證了對超導(dǎo)帶 材施加了一定