一種可單面封裝的雙膜電容式壓力傳感器及制作方法
本發明涉及壓力傳感器技術領域,特指一種可單面封裝的雙膜電容式壓力傳感器及制作方法,包括玻璃襯底,玻璃襯底上設有小淺槽與大淺槽,小淺槽通過細槽連通于大淺槽,大淺槽上設有可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2,可測量低壓差的電容C1包括底電極板與薄壓力敏感膜,可測量高壓差的電容C2包括厚壓力敏感膜與頂電極板,小淺槽通過細槽與可測量低壓差的電容C1對應設置,可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2對應設置。本發明采用變間距原理實現壓力到電容的轉換,可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2分別實現了低壓段與高壓段的高精度測量,不僅提高了壓力測量精度,也提升了傳感器的測量范圍。
東南大學
2021-04-11