Si基微機(jī)械懸臂梁耦合直接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)器
本發(fā)明的Si基微機(jī)械懸臂梁耦合直接加熱式毫米波信號(hào)檢測(cè)器,結(jié)構(gòu)由懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)、功率合成/分配器、直接加熱式微波功率傳感器和開關(guān)構(gòu)成。懸臂梁耦合結(jié)構(gòu)包括兩組懸臂梁,每組懸臂梁由兩個(gè)對(duì)稱的懸臂梁構(gòu)成,兩個(gè)懸臂梁之間CPW傳輸線的電長(zhǎng)度在所測(cè)信號(hào)頻率范圍內(nèi)的中心頻率35GHz處為λ/4。功率通過輸入端口對(duì)應(yīng)的CPW信號(hào)線終端的直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行檢測(cè);頻率檢測(cè)通過利用直接加熱式微波功率傳感器測(cè)量?jī)陕吩谥行念l率處相位差為90度的耦合信號(hào)的合成功率實(shí)現(xiàn);相位檢測(cè)通過將兩路在中心頻率處相位差為90度的
東南大學(xué)
2021-04-14