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曲折波導行波管是傳統(tǒng)螺旋線和耦合腔行波管的折中，具有較寬的工作帶寬和較大的功率容量，在毫米波和太赫茲頻段具有獨特的優(yōu)點。為了進一步提高器件的性能，研制了新型慢波結構，以及毫米波段新型慢波結構真空電子器件。研制成功的Q波段連續(xù)波曲折波導行波管突破了高效率曲折波導慢波結構設計、加工與裝配、大電流密度電子槍、大功率連續(xù)波輸出等關鍵技術，實現(xiàn)了大功率輸出。 曲折波導慢波結構 Q波段連續(xù)波曲折波導行波管應用于衛(wèi)星通信、電磁干擾等裝備系統(tǒng)中。

該軋機屬機電一體化產(chǎn)品。開式工作機架采用了環(huán)孔型軋輥對管坯進行長行程軋制，行程長度與德國SKW－75－VMR軋管機相同。 回轉送進機構由原來復雜的機械傳動改為簡單可靠的電氣傳動完成，由于自行開發(fā)的電控系統(tǒng)采用獨有技術解決了管坯送進量準確、穩(wěn)定和回轉角度任意可調的難題，大大簡化了機械傳動的調整、維護，不僅明顯降低了機械傳動中的剛性沖擊和噪音，也大大減少了使用和維護成本。 由于該軋機可實現(xiàn)正、反向無扭回轉，出料系統(tǒng)中設置了由水平料槽、卷取機、料筐裝置等組成的直線在線卷取系統(tǒng)，實現(xiàn)邊軋制邊卷取，從而大大節(jié)省了車間占地面積。 本軋機是在吸收了國內(nèi)外SKW―VMR、LG―GH、XЛT 等系列軋管機的基礎上采取洋為中用，新老結合的方式，自主研制開發(fā)的新型冷軋管機。

本項目產(chǎn)品目前超級電容器的致命缺陷，創(chuàng)新構建了以改性的碳納米管(CNTs)為骨架，在此基礎上合成以CNT為納米莖、片狀納米鎳基多元氧化物為枝葉的三維納米結構材料。由該材料體系結構作為超級電容器正極材料時，CNT形成一維電子“快速通道”，在充放電過程中，電荷能通過CNT快速通道進行超高速交換。而片狀納米鎳基氧化物具有巨大的表面積兼有非常強的電化學活性，使其贗電容效應的極具顯著。該材料體系結構的另外一重大優(yōu)點為在電容器制備過程中可以高效地避免納米材料很容易出現(xiàn)的團聚現(xiàn)象，可以保證該三維納米結構能獲得最大的比表面積，從而使能量密度大大提高。因而，由該納米三維結構電極材料制備的超級電容器可以獲得了非常大的比電容、很大的能量密度和非常高的功率密度；更特別地，充電時間遠小于鋰離子電池和鉛酸電池，在充電設備允許情況下，充電時間可以減小到2分鐘以內(nèi)；循環(huán)壽命也高于鋰離子電池10倍以上；并且該超級電容器具有非常高的可靠行，制備和使用都非常環(huán)保和安全。該項目產(chǎn)品不僅僅可以廣泛應用于原有的電容器應用領域，更特別地，可以代替現(xiàn)有巨大市場規(guī)模的鉛酸電池和鋰電池等二次電池而可廣泛應用于電動自行車、新能源汽車、電站儲能、工業(yè)電動運輸裝置、電動工具、便攜式電子設備、通訊基站的備用電源、軍事裝備（單兵備用電源、瞬時大推力陸用裝備、無人機、空間飛行器等）等，具有千億級的市場規(guī)模。 技術指標： ？ 能量密度：30-80Wh/kg（目前商業(yè)超級電容器的最高僅為8Wh/kg） ？ 功率密度：2-20kW/kg ？ 充電時間：小于5分鐘 ？ 循環(huán)壽命：大于5000次 項目產(chǎn)品的技術和性能優(yōu)勢： ？ 超大的電容量：比傳統(tǒng)電容器容量高6個數(shù)量級，比現(xiàn)有商業(yè)化的超級電容器的比能量高10倍，已經(jīng)超過鉛酸電池的能量密度。 ？ 超高功率：比鋰離子電池的功率密度高兩個數(shù)量級以上。 ？ 充電速度快：比鋰離子電池快10倍以上。 ？ 更長的充放電循環(huán)使用壽命：比鋰離子電池的壽命高1個數(shù)量級以上。 ？ 具有免維護：可隨時淺充、滿充和過充電、淺放電、全放電，對電池不會損害，無記憶效應。 ？ 高可靠性：超級電容器從生產(chǎn)至使用過程中，均不會出現(xiàn)鋰離子電池爆炸問題，即使在嚴重擠壓和高溫下也是安全可靠的。 ？ 環(huán)保無污染：從生產(chǎn)、使用到報廢回收，均不存在污染，是典型的綠色產(chǎn)品。 ？ 生產(chǎn)成本低，生產(chǎn)工藝兼容性好：電極材料的制備工藝兼容常規(guī)材料的制備工藝；電容器的制備工藝可以完全兼容鋰離子電池的生長設備，但工藝要求更加簡單。

曲折波導行波管是傳統(tǒng)螺旋線和耦合腔行波管的折中，具有較寬的工作帶寬和較大的功率容量，在毫米波和太赫茲頻段具有獨特的優(yōu)點。為了進一步提高器件的性能，研制了新型慢波結構，以及毫米波段新型慢波結構真空電子器件。研制成功的Q波段連續(xù)波曲折波導行波管突破了高效率曲折波導慢波結構設計、加工與裝配、大電流密度電子槍、大功率連續(xù)波輸出等關鍵技術，實現(xiàn)了大功率輸出

該項目產(chǎn)品不僅僅可以廣泛應用于原有的電容器應用領域，更特別地，可以代替現(xiàn)有巨大市場規(guī)模的鉛酸電池和鋰電池等二次電池而可廣泛應用于電動自行車、新能源汽車、電站儲能、工業(yè)電動運輸裝置、電動工具、便攜式電子設備、通訊基站的備用電源、軍事裝備（單兵備用電源、瞬時大推力陸用裝備、無人機、空間飛行器等）等，具有千億級的市場規(guī)模。

1 研究背景 1.1 高壓力、大直徑和高可靠性的非金屬壓力管道需求迫切 管道作為五大運輸方式之一，是輸送石油、天然氣、飲用水等重要能源和資源的主要手段，對國民經(jīng)濟的發(fā)展和穩(wěn)定至關重要，被稱為國民經(jīng)濟的“生命線”。我國壓力管道發(fā)展迅猛，應用規(guī)模不斷增大，在石油、天然氣和飲用水輸送等重大工程建設中發(fā)揮了不可替代的作用。在油氣領域，國內(nèi)油氣管道已形成縱橫東西、貫通南北、連接海外的管道輸送網(wǎng)絡。目前我國的原油管道1.9×104km，成品油管道2×104km，天然氣干線管道4.8×104km，油氣管道的總長度穩(wěn)居全球前五名。以西氣東輸三線為例，其西起新疆霍爾果斯，東至福建省福州市，全長5220km，設計年輸量3×1010m3。此外，油田集輸管網(wǎng)和城鎮(zhèn)燃氣管網(wǎng)的管道長度已達到數(shù)十萬公里，且仍在不斷增長，成為油氣管道重要組成部分。在水資源輸送領域，為解決我國的水資源時空分布不均問題，我國已經(jīng)實施了多項跨流域、跨地區(qū)的長距離管道輸水工程，如南水北調工程、廣東省的“東深引水工程”和“西江引水工程”、天津的“引灤入津工程”和山東的“引黃濟青工程”。以南水北調中線工程為例，年均輸送生活、工業(yè)用水6.4×1010m3，農(nóng)業(yè)用水3×1010m3，供水范圍內(nèi)總面積15.5萬平方千米，惠及沿線6000萬人口。 以聚乙烯及其增強復合管為代表的非金壓力屬管道具有耐腐蝕、抗震、柔性好、壽命長等優(yōu)勢，在越來越多的應用領域替代金屬管道，成為世界各國競先研發(fā)的未來管道發(fā)展方向。全球非金屬管道的年均增速約5.9%，我國聚乙烯管道年平均增速更是達15%。 隨著聚乙烯及其增強復合管的不斷發(fā)展，其在燃氣和輸水等領域應用不斷擴展。在燃氣領域，在燃氣領域，美國、英國、丹麥等的城市燃氣管道中聚乙烯管應用比例均接近100%，而我國新鋪設的中低壓城市燃氣管90%以上采用聚乙烯管材。在輸水領域，我國城市建筑排水管道85%采用塑料管，城市排水管道的塑料管使用量達到50%，城市供水管道（DN400mm以下）80%采用塑料管，村鎮(zhèn)供水管道90%采用塑料管，逐漸占據(jù)主導地位。目前，多數(shù)國家已經(jīng)在燃氣和給水領域選擇聚乙烯管逐漸替代金屬管道，實現(xiàn)以塑代鋼。 近年來，非金屬壓力管道逐漸在更高壓力、更大直徑和更高安全性要求的油氣集輸、核電冷卻水輸送等領域廣泛應用。如在油田的油氣集輸及開采領域，用于油氣田注水的非金屬壓力管道（直徑50-75mm），工作壓力已經(jīng)達到32MPa；用于油田站內(nèi)給水的非金屬壓力管道（直徑315mm），工作壓力已經(jīng)達到2MPa；用于油田集輸管的非金屬壓力管道（直徑50-75mm），工作壓力已經(jīng)達到4MPa，平均工作溫度高達60℃。在核電站冷卻水輸送領域，美國的Callaway核電站率先鋪設聚乙烯管道的外圍冷卻水系統(tǒng)，我國新建的AP1000核電站（浙江三門核電、山東海陽核電）外圍冷卻水輸送均采用聚乙烯管道（直徑752mm，徑厚比DR9）。由于聚乙烯管道具有耐海水及微生物腐蝕、抗震等優(yōu)勢，許多現(xiàn)有核電站冷卻水管道系統(tǒng)也逐漸更換為聚乙烯管道，如2017年大亞灣核電站成功將其核安全相關的反沖洗系統(tǒng)管道更換為200mm，DR9的聚乙烯管道。 1.2 管道系統(tǒng)安全性的要求日益迫切 隨著聚乙烯管道系統(tǒng)在燃氣、供水等領域的應用日益廣泛，其安全問題受到越來越多的關注。根據(jù)中國城市規(guī)劃協(xié)會地下管線專業(yè)委員會的統(tǒng)計報告，2009年至2013年中國城市管線典型事故共計75起，而其中導致人員死傷的27起。南京“7.28”管道泄漏爆炸事故共造成22人死亡，120人住院治療，爆燃點周邊部分建筑物受損，直接經(jīng)濟損失4784萬元。臺灣“8.1”燃氣泄漏爆炸事故中多條街道陸續(xù)發(fā)生可燃氣體外泄，并引發(fā)多次大爆炸，造成32人死亡，321人受傷，經(jīng)濟損失高達1.4億元。類似的管道泄漏導致爆燃的事故給全社會帶來了重大的公共環(huán)境和人身安全的威脅。 隨著聚乙烯管道系統(tǒng)在燃氣、供水等領域的應用日益廣泛，全社會對管道系統(tǒng)安全性的要求也日益迫切。 1.3 焊接過程的溫度控制是提升管道系統(tǒng)可靠性的關鍵 當我們追溯這些事故的源頭，會發(fā)現(xiàn)有53%的聚乙烯管道系統(tǒng)故障發(fā)生在管道的接頭處——即管材與管材焊接的部位（來自塑料管道數(shù)據(jù)庫委員會PPDC）。接頭作為管道系統(tǒng)中質量最薄弱的環(huán)節(jié)，其焊接質量影響到整個管道系統(tǒng)的安全運行。 電熔焊接是目前聚乙烯管道最常用的連接方式之一。它通過預埋在電熔套筒內(nèi)部的電阻絲加熱電熔套筒的內(nèi)表面及管材的外表面，使二者吸收熱量并熔融，而后固定、冷卻。 在電熔焊接過程中，溫度是最重要的參數(shù)，也是造成接頭失效最本質的原因。不合理的焊接工藝導致的焊接過程的溫度控制不當，引發(fā)冷焊和過焊等缺陷。內(nèi)部溫度過高會使得金屬絲周圍的聚乙烯材料因溫度過高而裂解，從而導致接頭強度不足，產(chǎn)生過焊現(xiàn)象；內(nèi)部溫度不足則會導致熔合區(qū)深度和界面強度不足，產(chǎn)生冷焊現(xiàn)象。冷焊缺陷很難從外觀上或通過常規(guī)液壓試驗分辨，但其可能導致焊接接頭在服役過程中沿熔合面發(fā)生貫穿裂紋擴展失效，具有很大的安全隱患。 1.4 應用過程的安全狀態(tài)監(jiān)測是保障管道系統(tǒng)安全運行的關鍵 接頭是管道系統(tǒng)的薄弱環(huán)節(jié)。美國塑料管研究所（PPI）技術總監(jiān)Sarah Patterson在2016年美國機械工程師協(xié)會（ASME）壓力容器與管道（PVP）50周年會的大會報告上指出，非金屬管道的無損檢測與安全監(jiān)測研究是今后塑料管道技術發(fā)展應用的重要課題。 在接頭安全監(jiān)測方面，管道的服役過程安全監(jiān)測研究主要有以下四種：（1）基于應變的監(jiān)測技術：主要采用應變片等傳感器測量管道應變。該方法技術成熟，但測點多、電路復雜，且僅能獲得材料表層局部的應變信息。（2）連續(xù)碳纖維復合材料自監(jiān)測技術：如內(nèi)嵌連續(xù)碳纖維的復合材料，可以實時提供結構應變信息。采用連續(xù)碳纖維自監(jiān)測的應變靈敏度系數(shù)小于傳統(tǒng)應變片，且應變檢測范圍很小。（3）基于埋入傳感器的監(jiān)測技術：如利用嵌入式光纖光柵的管道應變場監(jiān)測。光纖檢測集成度高、精度高，已經(jīng)在管道、橋梁等結構的智能監(jiān)測中得到廣泛應用。（4）基于導電填充材料的監(jiān)測技術：在不導電的聚乙烯或其他非金屬基體樹脂中摻入少量導電纖維或顆粒，從而在材料中建立導電傳感網(wǎng)絡，當材料產(chǎn)生變形或局部損傷時，導電網(wǎng)絡相應地產(chǎn)生導通節(jié)點數(shù)變化或局部斷開，通過測量材料宏觀電阻變化可以獲得材料應變或局部損傷等信息。 基于導電填充材料的智能監(jiān)測技術一直是混凝土結構與生物傳感器領域的前沿與熱點。其關鍵問題是如何通過合理的傳感器設計，在不影響監(jiān)測對象本身工作特性的同時，有效地提取監(jiān)測對象的服役狀態(tài)和結構損傷信息。開展結構安全監(jiān)測技術研究，智能監(jiān)測感知壓力容器與管道結構失效特征參量，實現(xiàn)損傷失效的預警和運行的自主優(yōu)化，是未來壓力容器行業(yè)重要的研究方向。 2 智慧管件系統(tǒng)解決方案 非金屬管道的智慧管件系統(tǒng)包含管件焊接過程的溫度場智能調控和管件使用過程的損傷自監(jiān)測兩個功能，如圖1所示。 2.1 焊接過程溫度場調控 電熔焊接過程從本質上是電阻絲通電生熱、聚乙烯材料相變?nèi)酆系倪^程，熔區(qū)溫度在時間和空間上的變化很大程度上體現(xiàn)出焊接過程的發(fā)展。如圖2所示，智能焊機的“智能”正是來源于我們所提出的熔區(qū)復合溫度場理論模型。該模型能夠根據(jù)采集到的實際電壓電流數(shù)據(jù)，小成本、高精度地實時推演焊接過程的發(fā)展。不同于傳統(tǒng)焊機對被控對象內(nèi)部情況的“一無所知”，智能焊機首次采用基于熔區(qū)溫度場的方式在線監(jiān)測焊接過程，使得參數(shù)的調節(jié)和設計有堅實的理論依據(jù)。 在溫度場模型的基礎上，本作品能實現(xiàn)對焊接過程的質量控制。在焊接接頭性能與加工條件的研究上，團隊通過熱重分析和凝膠滲透色譜分析研究PE100在不同溫度焊接后的熱降解行為，得出典型工業(yè)級PE100材料的允許焊接最高溫度在270℃的結論。同時，通過超聲檢測和梯度試驗的方法證實了管材熔區(qū)深度與焊接界面強度的關聯(lián)。 基于上述理論研究和多次實踐，對聚乙烯最高溫度和熔區(qū)拓展深度進行控制是應對過焊和冷焊缺陷的重要方式。智能焊機對質量進行控制的思路即通過實時溫度場計算聚乙烯最高溫度和熔區(qū)邊界，讓最高溫度在不超過270℃，熔區(qū)深度控制在2～3mm。為使焊接效率最高，通過由調整次數(shù)、焊接時長、最高溫度等指標組成的代價函數(shù)對不同調整策略進行評價，從而獲得最優(yōu)的電壓調整策略。通過這種溫度主動控制的方式，管道焊接缺陷產(chǎn)生的概率下降超80%。 1.1 服役過程安全狀態(tài)自監(jiān)測 為了實現(xiàn)管道系統(tǒng)服役過程的安全狀態(tài)自監(jiān)測，采用短切碳纖維（SCF）增強聚乙烯復合材料（PE-SCF）制備電熔管件。由于碳纖維SCF具有良好的導電性，隨著纖維含量的不斷增加，填充在聚合物基體內(nèi)部的短碳纖維能夠形成良好的導電網(wǎng)絡，如圖3所示。PE-SCF復合材料內(nèi)部SCF導電網(wǎng)絡的破壞與重組賦予了該材料壓阻效應，能夠用于監(jiān)測PE-SCF復合材料承受的載荷。圖4為循環(huán)拉伸載荷下PE-SCF的應變和電阻響應與時間的關系?？梢钥闯?，PE-SCF復合材料的監(jiān)測電阻能夠及時反映材料承受的應變。隨著應變增加，材料的電阻值增加；應變降低，材料的電阻值也降低；并且監(jiān)測電阻對應變變化的響應具有很好的穩(wěn)定性。PE-SCF復合材料在拉伸力作用下發(fā)生變形，部分短碳纖維導電網(wǎng)絡斷開，導致材料的電阻率增加。隨著應變的降低，短碳纖維之間的接觸恢復到初始狀態(tài)，電阻值也隨之恢復。結果表明PE-SCF應變與電阻變化之間存在確定的關聯(lián)機制，初步論證采用PE-SCF復合材料制備具有自監(jiān)測功能的電熔接頭具有可行性。 圖5顯示了爆破試驗過程中所監(jiān)測到的PE-SCF電熔接頭的電阻和壓力變化曲線。結果表明，隨著內(nèi)部壓力的升高，兩個電極之間的電阻會不斷增加，電阻變化率曲線的斜率也迅速增加。這是因為在加壓初始階段，電阻變化主要由基體的彈性變形引起，在這種情況下，材料內(nèi)部的導電網(wǎng)絡仍然完整，因此電阻不會產(chǎn)生很大變化。當壓力繼續(xù)增加時，材料內(nèi)部形成微裂紋，導致局部導電網(wǎng)絡的破壞，電阻變化率顯著增加。初步實驗表明，利用電阻變化率監(jiān)測PE-SCF電熔接頭的內(nèi)壓載荷及結構損傷狀態(tài)具有可行性。 圖6顯示了峰值內(nèi)壓為5MPa時的循環(huán)加載實驗期間，電熔接頭上監(jiān)測到的電阻變化曲線?？梢婋娙劢宇^表面電極之間的電阻變化趨勢與接頭內(nèi)部的壓力變化趨勢一致，且每個周期的峰值電阻十分穩(wěn)定?；陔娮铚y量的內(nèi)壓監(jiān)測靈敏度系數(shù)約為29.56%/MPa。實驗結果表明，載荷和監(jiān)測到的電阻信號存在較為穩(wěn)定的關聯(lián)關系，因而用電阻變化監(jiān)測電熔接頭內(nèi)部壓力的變化是可行的。 上述測試結果表明，采用PE-SCF復合材料制備電熔管件，利用PE-SCF材料的壓阻效應，能夠實現(xiàn)基于電阻測量的管道系統(tǒng)在服役過程中的內(nèi)壓及安全狀態(tài)實時監(jiān)測，提升了管道系統(tǒng)的服役安全性。  

機械輔助通氣后人工氣道的管理，是影響患者預后的最重要因素之一，特別是吸痰過程中無法識別吸 入管道的深度，常常損傷氣管隆突，造成氣道損傷。本項目擬轉化一種帶有安全標識和警示標識的吸痰 管，用于提醒所述吸痰軟管插入到對應氣管插管中的深度，便于指導臨床護士安全有效的吸痰操作，避免 氣道損傷。

聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)是集能耗監(jiān)測與能耗管控于一體的智能化節(jié)能管理系統(tǒng)，針對各級公路隧道照明節(jié)能管控效果尤為顯著。本系統(tǒng)采用先進的網(wǎng)絡構建模式，搭建一個服務于各級公路隧道節(jié)能管控的平臺，具有良好的穩(wěn)定性、拓展性、實用性等。物聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)其結構主要包括：人機交互界面、業(yè)務邏輯、數(shù)據(jù)訪問。為了豐富界面展示效果，方案采用專業(yè)界面控件作為人機交互界面主要技術手段，該技術提供了一種在 Web 上體現(xiàn)強交互性的解決方案。業(yè)務邏輯負責能耗數(shù)據(jù)的采集、處理、計算及前端監(jiān)測/控制設備控制策略等工作。數(shù)據(jù)訪問提供對數(shù)據(jù)庫的存儲訪問支持。物聯(lián)網(wǎng)隧道照明節(jié)能管控系統(tǒng)即在隧道入口前 500 米通過微波車輛檢測器、激光車輛檢測器兩種檢測方式，準確檢測有無車輛通過。有車輛駛入時，服務器結合環(huán)境光傳感器的實時采集數(shù)據(jù)及設置的相應數(shù)值，開關或調節(jié)入口加強照明段的照明設備，加強照明段的環(huán)境光傳感器可檢測照明設備的開關狀態(tài)及效果。隧道內(nèi)布置激光車輛檢測器，當車輛通過時，上傳數(shù)據(jù)（信號）至服務器，用于進行本地和遠程隧道照明控制。隧道內(nèi)分段布置物聯(lián)網(wǎng)在線診斷系統(tǒng)，可實時監(jiān)測路況信息。

一、項目簡介物聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)是集能耗監(jiān)測與能耗管控于一體的智能化節(jié)能管理系統(tǒng)，針對各級公路隧道照明節(jié)能管控效果尤為顯著。本系統(tǒng)采用先進的網(wǎng)絡構建模式，搭建一個服務于各級公路隧道節(jié)能管控的平臺，具有良好的穩(wěn)定性、拓展性、實用性等。物聯(lián)網(wǎng)智慧公路節(jié)能管控系統(tǒng)其結構主要包括：人機交互界面、業(yè)務邏輯、數(shù)據(jù)訪問。為了豐富界面展示效果，方案采用專業(yè)界面控件作為人機交互界面主要技術手段，該技術提供了一種在 Web 上體現(xiàn)強交互性的解決方案。業(yè)務邏輯負責能耗數(shù)據(jù)的采集、處理、計算及前端監(jiān)測/控制設備控制策略等工作。數(shù)據(jù)訪問提供對數(shù)據(jù)庫的存儲訪問支持。物聯(lián)網(wǎng)隧道照明節(jié)能管控系統(tǒng)即在隧道入口前 500 米通過微波車輛檢測器、激光車輛檢測器兩種檢測方式，準確檢測有無車輛通過。有車輛駛入時，服務器結合環(huán)境光傳感器的實時采集數(shù)據(jù)及設置的相應數(shù)值，開關或調節(jié)入口加強照明段的照明設備，加強照明段的環(huán)境光傳感器可檢測照明設備的開關狀態(tài)及效果。隧道內(nèi)布置激光車輛檢測器，當車輛通過時，上傳數(shù)據(jù)（信號）至服務器，用于進行本地和遠程隧道照明控制。隧道內(nèi)分段布置物聯(lián)網(wǎng)在線診斷系統(tǒng)，可實時監(jiān)測路況信息、確認照明設備開

通過簡單封裝和熱退火，制備出穩(wěn)定富含氫的IGZO 晶體管，其晶體管電學性能、穩(wěn)定性都獲得大大提高。制備方法較簡單且重復性高，即用氮化硅薄膜封裝，再通過熱擴散將氮化硅內(nèi)氫元素擴散至InGaZnO薄膜內(nèi)。摻氫后的晶體管，其開態(tài)電流和開關比都獲得了數(shù)量級的提升（約40倍），而且閾值電壓沒有太大變化。而對應提取出的場效應遷移率則出現(xiàn)異常，大于300 cm2/(V·s)，遠高于未經(jīng)處理的對照樣品。然后結合二次離子質譜儀（SIMS）和X射線光電子能譜分析（XPS）表征，發(fā)現(xiàn)薄膜內(nèi)不但氫濃度提升了約一個數(shù)量級，而且氧空位缺陷態(tài)也大大減少了，而自由電子濃度則相應顯著增加。?研究還指出，該工作模式在長溝道晶體管中效果尤為顯著，而在短溝道器件中則受到明顯局限。該工作揭示了氫在氧化物半導體中的穩(wěn)定存在方式和對導電性能的關鍵作用，為提升長溝道晶體管的電流驅動能力提供了一種新的器件工作模式，并對高遷移率薄膜晶體管的驗證和分析提供了普適性的理論依據(jù)和實驗方法。