一種倒裝 LED 芯片在線檢測裝置
本發(fā)明公開了一種倒裝 LED 芯片在線檢測裝置,其包括:工作 臺模塊、收光測試組件、運輸傳輸組件、探針測試平臺、精密對準系 統(tǒng),其中,在工作中,運輸傳送系統(tǒng)可以運輸盤片工作臺到合適的工 作區(qū)域,調整位姿之后,啟動探測對準系統(tǒng)對探針工作臺進行控制, 使探針與待測試的芯片接觸通電,使芯片發(fā)亮,從而收光測試組件可 以對其進行檢測。按照本發(fā)明的機械結構,能夠成功地解決倒裝 LED 芯片電機和發(fā)光面不同側的問題,并且采用了精密圖像運動控制技術, 實現(xiàn)了倒裝 LED 芯片的高速精密測試,加快了芯片的檢測效率。按
華中科技大學
2021-04-14