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本硅微諧振式壓力傳感器采用自主設(shè)計(jì)的膜片——諧振梁式復(fù)合敏感結(jié)構(gòu)、自主探索的工藝流程和自主研發(fā)的信號(hào)處理技術(shù)，具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和靈敏度，且敏感結(jié)構(gòu)比國(guó)外同類產(chǎn)品簡(jiǎn)單，適合國(guó)內(nèi)工藝水平現(xiàn)狀。 該傳感器用于大氣壓力測(cè)量或液體壓力測(cè)量，在氣象、航空、石油、化工、電力等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊。目前，該技術(shù)已達(dá)到小批量樣機(jī)生產(chǎn)的實(shí)用要求。

鈦硅分子篩（TS-1）對(duì)于以雙氧水為氧化劑的許多低溫有機(jī)反應(yīng)，如烯烴環(huán)氧化、醇類氧化為醛或酮、芳香族化合物羥基化反應(yīng)以及環(huán)已酮氨肟化反應(yīng)中都表現(xiàn)出較高的性能，已在苯酚羥基化和環(huán)已酮氨肟化工業(yè)生產(chǎn)過程中得以應(yīng)用。目前工業(yè)TS-1分子篩合成方法是以四丙基氫氧化銨（TPAOH）為模板劑，使正硅酸乙酯（TEOS）和鈦酸酯相繼水解，先經(jīng)水熱合成得到初產(chǎn)品，再對(duì)

已有樣品/n在主流硅基FinFET集成工藝基礎(chǔ)上，通過高級(jí)刻蝕技術(shù)形成體硅絕緣硅Fin和高k金屬柵取代柵工藝中選擇腐蝕SiO2相結(jié)合，最終形成全隔離硅基環(huán)柵納米線MOS器件的新方法。并在取代柵中絕緣硅Fin釋放之后，采用氧化和氫氣退火兩種工藝分別將隔離的“多邊形硅Fin”轉(zhuǎn)化成“倒水滴形”和“圓形”兩種納米線結(jié)構(gòu)。

在集成電路、太陽(yáng)能電池等制造產(chǎn)業(yè)中，單晶硅在線切割過程中會(huì)產(chǎn)生大量的廢砂漿。廢砂漿經(jīng)預(yù)處理，除去聚乙二醇和大顆粒碳化硅，剩余部分稱為環(huán)保廢砂漿，其主要成分為二氧化硅、硅、小顆粒碳化硅及少量金屬雜質(zhì)。然而，環(huán)保廢砂漿易自燃，人們對(duì)其回收利用研究的很少，一般封存填埋處理，不但造成資源浪費(fèi)，而且給環(huán)境帶來巨大的危害。本項(xiàng)目利用環(huán)保廢砂漿制備附加值高、應(yīng)用廣泛的白炭黑并分離回收碳化硅的資源化工藝，具有較為重要的環(huán)境保護(hù)和循環(huán)經(jīng)濟(jì)意義。制得二氧化硅含量可達(dá)到98%以上，各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到白炭黑產(chǎn)品的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹　　　廣州市奧力生體育設(shè)施有限公司是集設(shè)計(jì)、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、鋪裝及售后服務(wù)于一體的專業(yè)運(yùn)動(dòng)場(chǎng)設(shè)施營(yíng)造公司，主要從事項(xiàng)目有塑膠跑道、籃球場(chǎng)、網(wǎng)球場(chǎng)、排球場(chǎng)、羽毛球場(chǎng)，人造草坪，室內(nèi)運(yùn)動(dòng)木地板等。公司積極推行“廣納良才”的企業(yè)策略，現(xiàn)擁有多名長(zhǎng)期從事康體設(shè)施研究、創(chuàng)新、開發(fā)的專家、學(xué)者及工程師等專業(yè)人才，技術(shù)力量雄厚，通過引進(jìn)和吸收國(guó)外先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行改造和創(chuàng)新，不斷擴(kuò)大規(guī)模，以新型環(huán)保產(chǎn)品贏得市場(chǎng)，回報(bào)社會(huì)?！　　　皧W力生牌”塑膠球場(chǎng)按中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T14833-93組織生產(chǎn)、鋪裝，并制定了適應(yīng)不同環(huán)境的內(nèi)控指標(biāo)，產(chǎn)品完全符合國(guó)際田聯(lián)、國(guó)家體委對(duì)運(yùn)動(dòng)球場(chǎng)珠嚴(yán)格要求。塑膠球場(chǎng)鋪面現(xiàn)主要有紅、綠、藍(lán)、黃等多種顏色，并可按用戶要求和使用環(huán)境制成其他各種不同顏色?！　　　‖F(xiàn)生產(chǎn)基地占地12000平方米，具有年產(chǎn)5000噸聚氨酯材料的生產(chǎn)能力和年鋪裝40萬(wàn)平方米塑膠跑道及塑膠球場(chǎng)面層的施工能力,所生產(chǎn)的高品質(zhì)塑膠地面鋪裝材料以流平性好、物理性能指標(biāo)高、環(huán)保性好深受廣大 用戶和合作單位的稱贊。運(yùn)動(dòng)球場(chǎng)地面系列產(chǎn)品：1）PU全塑型球場(chǎng)面層超強(qiáng)耐磨防滑,高彈性,一體成型面層,厚度均勻,不鼓泡,耐老化,色彩鮮艷,適用于各種比賽場(chǎng)地,維護(hù)方便。2）PU復(fù)合型球場(chǎng)面層抗紫外線，有效避免運(yùn)動(dòng)傷害，強(qiáng)韌的彈性層及緩沖層，抗釘鞋磨損，軟硬適中，耐磨性佳。3）EPDM透氣型球場(chǎng)面層美觀耐用，全天候使用環(huán)保無(wú)公害，不褪色，不掉顆粒、不積水、采用進(jìn)口先進(jìn)機(jī)械施工，平整度極佳

本實(shí)用新型公開了一種硅晶圓微盲孔金屬填充裝置，包括孔板和真空回流裝置；所述孔板置于硅晶圓的表面的孔板，孔板上加工有多個(gè)用于填充金屬小球的小孔，小孔與硅晶圓的微盲孔位置一一對(duì)應(yīng)；所述真空回流裝置用于在真空環(huán)境下熔化金屬小球。本實(shí)用新型通過孔板小孔大小和厚度，金屬小球的大小來控制每個(gè)小孔內(nèi)外金屬體積和位置，并通過抽真空來避免盲孔填充金屬時(shí)由于孔內(nèi)氣室和金屬表面張力的作用而導(dǎo)致空洞缺陷。

基于CMOS工藝，設(shè)計(jì)了大量射頻、毫米波收發(fā)機(jī)和頻率源芯片； CMOS 90nm 60GHz 接收機(jī)芯片，集成片上天線，傳輸效率優(yōu)于IBM芯片90%； CMOS 90nm 21dBm 60GHz功率放大器，性能優(yōu)于Hittite商用GaAs芯片； CMOS 60GHz 移相器芯片，為開發(fā)毫米波相控陣芯片奠定良好基礎(chǔ)；

項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:目前鋰離子電池的能量密度已經(jīng)越來越不能滿足其在電動(dòng)汽車、智能手機(jī)和大規(guī)模儲(chǔ)能方面的應(yīng)用。鋰離子電池的能量密度低主要是因?yàn)樗捎玫恼?fù)極材料的比容量較低，尤其是負(fù)極材料石墨，其理論比容量為 372 mAh/g。目前研究最多的、最具有商業(yè)化前景的負(fù)極材料為硅基負(fù)極材料，其理論比容量為 4200 mAh/g，是石墨的十倍以上。據(jù)招商證券預(yù)計(jì)，硅基負(fù)極材料在 2020 年的市場(chǎng)使用量接近于 5 萬(wàn)噸，銷售額接近于 50 億。 然而硅基材料在充放電過程中較大的體積變化率（>300%）限制了其商業(yè)化應(yīng)用，較大的體積變化導(dǎo)致極片碎裂以及電解液在材料表面持續(xù)分解，從而造成其循環(huán)性能劇烈下降。另外，硅基材料為半導(dǎo)體，其導(dǎo)電性較差，從而導(dǎo)致硅基負(fù)極材料的倍率性能較差。如何解決硅基負(fù)極材料這兩大缺點(diǎn)是普及硅基材料在鋰離子電池應(yīng)用的關(guān)鍵。 陳永勝教授課題組結(jié)合在納米技術(shù)和石墨烯材料領(lǐng)域的專長(zhǎng)，經(jīng)過近 10 幾年的研究，采用低成本的原材料、易工業(yè)化的工藝技術(shù)制備了石墨烯包覆的硅基負(fù)極材料，主要技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)包括：1）采用獨(dú)特的、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的納米技術(shù)將大粒徑的硅粉進(jìn)行納米化處理，納米化大大緩解了硅在充放電過程中體積變化的問題，從而從根本上解決了硅基負(fù)極材料循環(huán)性能差的問題；2）石墨烯包覆則充分發(fā)揮了石墨烯導(dǎo)電導(dǎo)熱性能好、機(jī)械性能優(yōu)異、電化學(xué)性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，改善了材料的鋰離子擴(kuò)散性能和電子導(dǎo)電性，大大提高了功率特性； 14隔絕了硅與電解液的直接接觸，抑制副反應(yīng)造成的電解液分解和材料侵蝕，提高了首次效率，延緩了使用過程中的壽命衰減；進(jìn)一步減緩了充放電過程中硅的體積變化，維持材料結(jié)構(gòu)的整體穩(wěn)定性，極大地提升了循環(huán)特性。效益分析:陳永勝教授課題組發(fā)明的石墨烯包覆硅基負(fù)極材料，從制備過程上講，具有工藝簡(jiǎn)單、成本低廉、易工業(yè)化的特點(diǎn)；從性能上講，具有比容量高、穩(wěn)定性好、壓實(shí)密度大等優(yōu)點(diǎn)，與高比容量正極組成的鋰離子電池的能量密度是當(dāng)前商業(yè)化鋰離子電池能量密度的數(shù)倍以上。

目前鋰離子電池的能量密度已經(jīng)越來越不能滿足其在電動(dòng)汽車、智能手機(jī)和大規(guī)模儲(chǔ)能方面的應(yīng)用。鋰離子電池的能量密度低主要是因?yàn)樗捎玫恼?fù)極材料的比容量較低，尤其是負(fù)極材料石墨，其理論比容量為 372 mAh/g。目前研究最多的、最具有商業(yè)化前景的負(fù)極材料為硅基負(fù)極材料，其理論比容量為 4200 mAh/g，是石墨的十倍以上。據(jù)招商證券預(yù)計(jì)，硅基負(fù)極材料在 2020 年的市場(chǎng)使用量接近于 5 萬(wàn)噸，銷售額接近于 50 億。 然而硅基材料在充放電過程中較大的體積變化率（>300%）限制了其商業(yè)化應(yīng)用，較大的體積變化導(dǎo)致極片碎裂以及電解液在材料表面持續(xù)分解，從而造成其循環(huán)性能劇烈下降。另外，硅基材料為半導(dǎo)體，其導(dǎo)電性較差，從而導(dǎo)致硅基負(fù)極材料的倍率性能較差。如何解決硅基負(fù)極材料這兩大缺點(diǎn)是普及硅基材料在鋰離子電池應(yīng)用的關(guān)鍵。 陳永勝教授課題組結(jié)合在納米技術(shù)和石墨烯材料領(lǐng)域的專長(zhǎng)，經(jīng)過近 10 幾年的研究，采用低成本的原材料、易工業(yè)化的工藝技術(shù)制備了石墨烯包覆的硅基負(fù)極材料，主要技術(shù)創(chuàng)新點(diǎn)包括：1）采用獨(dú)特的、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的納米技術(shù)將大粒徑的硅粉進(jìn)行納米化處理，納米化大大緩解了硅在充放電過程中體積變化的問題，從而從根本上解決了硅基負(fù)極材料循環(huán)性能差的問題；2）石墨烯包覆則充分發(fā)揮了石墨烯導(dǎo)電導(dǎo)熱性能好、機(jī)械性能優(yōu)異、電化學(xué)性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，改善了材料的鋰離子擴(kuò)散性能和電子導(dǎo)電性，大大提高了功率特性； 14隔絕了硅與電解液的直接接觸，抑制副反應(yīng)造成的電解液分解和材料侵蝕，提高了首次效率，延緩了使用過程中的壽命衰減；進(jìn)一步減緩了充放電過程中硅的體積變化，維持材料結(jié)構(gòu)的整體穩(wěn)定性，極大地提升了循環(huán)特性。