一種原子力探針位姿調(diào)節(jié)裝置
本發(fā)明公開了一種原子力探針位姿調(diào)節(jié)裝置,包括探針座,調(diào)節(jié) 機構(gòu)和連接頭。其中探針座用于原子力探針的安裝固定;調(diào)節(jié)機構(gòu)包 括由下至上的第一調(diào)節(jié)部件、第二調(diào)節(jié)部件、第三調(diào)節(jié)部件、第四調(diào) 節(jié)部件以及第五調(diào)節(jié)部件,分別用于原子力探針的里外水平偏擺、左 右水平、上下旋轉(zhuǎn)、上下俯仰以及上下豎直位姿調(diào)節(jié);連接頭用于與 原子力探針測量系統(tǒng)的顯微物鏡相連。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)原子力探針任 意姿態(tài)的細微調(diào)節(jié),各個調(diào)節(jié)動作相互獨立,互不影響,提高了探針 姿態(tài)的調(diào)節(jié)精度;且能夠?qū)φ{(diào)節(jié)后的位姿進行鎖定,使其保持穩(wěn)定, 進一步保證原子力探針測量系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度。
華中科技大學
2021-04-11