一種產(chǎn)生寬譜帶可連續(xù)調(diào)諧相干極紫外光源的方法及裝置
本發(fā)明公開一種產(chǎn)生寬譜帶可連續(xù)調(diào)諧相干極紫外光源的方法及裝置,所述方法為:產(chǎn)生飛秒激光光束,將激光光束聚焦于工作氣體處,在真空環(huán)境下所述激光光束與所述工作氣體相互作用產(chǎn)生高次諧波;調(diào)整所述激光光束的入射能量或所述工作氣體的氣壓,以改變高次諧波的相位匹配條件,使得高次諧波頻率發(fā)生紅移或藍(lán)移,從而實(shí)現(xiàn)極紫外光源各階次諧波輻射波長的連續(xù)調(diào)諧。本發(fā)明還提供了實(shí)現(xiàn)上述方法的裝置。實(shí)施本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)極紫外光源各階次諧波輻射波長的連續(xù)調(diào)諧。
華中科技大學(xué)
2021-04-14