一種改進的基于支持向量機的納米結(jié)構(gòu)特征尺寸提取方法
本發(fā)明公開了一種改進的基于支持向量機的半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)特征尺寸提取方法,步驟為:確定每一個待提取參數(shù)的取值范圍,生成子光譜數(shù)據(jù)庫;利用訓練光譜和支持向量機訓練網(wǎng)絡(luò)進行支持向量機訓練;對每一個待提取參數(shù)利用訓練光譜重復(fù)訓練多個支持向量機,每一個支持向量機的訓練終止條件均不相同;利用多個支持向量機,對測量光譜進行映射;找出所有支持向量機映射結(jié)果中出現(xiàn)次數(shù)最高的一個,視為最有可能出現(xiàn)的取值區(qū)間;建立子光譜數(shù)據(jù)庫,找出其中與測量光譜最為相似的仿真光譜,即認為是待測結(jié)構(gòu)的參數(shù)值。本發(fā)明可以實現(xiàn)特征線寬、高度、側(cè)
華中科技大學
2021-04-14