固支梁T型結(jié)間接加熱在線式已知頻率微波相位檢測器
本發(fā)明的固支梁T型結(jié)間接加熱在線式已知頻率微波相位檢測器由六端口固支梁耦合器、微波相位檢測器和間接加熱式微波功傳感器級聯(lián)構(gòu)成;六端口固支梁耦合器由共面波導(dǎo),介質(zhì)層,空氣層和固支梁構(gòu)成;共面波導(dǎo)制作在SiO2層上,固支梁的下方沉積介質(zhì)層,并與空氣層共同構(gòu)成耦合電容結(jié)構(gòu),兩個固支梁之間的共面波導(dǎo)長度為λ/4;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同,待測信號經(jīng)六端口固支梁耦合器的第一端口輸入,由第三端口和第五端口輸出到間接加熱式微波功率傳感器,由第四端
東南大學(xué)
2021-04-14