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本發(fā)明公開了一種包覆超細(xì)粉體的原子層沉積方法與裝置，該方法的特征在于，在前驅(qū)體的吸附過(guò)程中引入了流化氣，利用流化氣吹散粉體，實(shí)現(xiàn)粉體的充分分散。該裝置包括反應(yīng)腔體，供應(yīng)系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)，監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，其特征在于，供應(yīng)系統(tǒng)包括流化氣源，流化氣通過(guò)流化氣輸送支路進(jìn)入反應(yīng)腔體，用于將粉體吹散到整個(gè)反應(yīng)區(qū)域。本發(fā)明的方法與裝置能有效提高粉體包覆率與沉積均勻性，并使得在每次沉積過(guò)程中對(duì)大量粉體進(jìn)行包覆成為可能，提高了粉體包覆的效率。

本實(shí)用新型公開了一種基于加熱的多毛細(xì)管氫原子發(fā)生裝置，用于將氫氣裂解得到氫原子，其包括氫原子發(fā)生組件，該氫原子發(fā)生組件包括多個(gè)相互平行且緊密相鄰的金屬毛細(xì)管，纏繞在所述多根金屬毛細(xì)管外周的金屬加熱線圈，所述金屬加熱線圈接通外界高頻交流電，所述高頻交流電使金屬加熱線圈周圍產(chǎn)生高速變化的交變磁場(chǎng)，位于磁場(chǎng)內(nèi)的金屬毛細(xì)管在電磁感應(yīng)作用下產(chǎn)生無(wú)數(shù)渦流，該渦流使毛細(xì)管快速發(fā)熱而溫度升高，高溫使從金屬毛細(xì)管一端通入的氫氣裂解為氫原子，氫原子從金屬毛細(xì)管另一端噴出。本實(shí)用新型中采用電感加熱多根毛細(xì)管，并采用隔熱套

一種用于原子力顯微鏡的氣氛控制系統(tǒng)，其特征在于：氣體瓶一（1a）和氣體瓶二（1b）分別通過(guò)流量計(jì)一（3a）、流量計(jì)二（3b）與混合氣管（4）的進(jìn)氣口相連，混合氣管（4）的出氣口通過(guò)進(jìn)氣腔（6）與原子力顯微鏡上的氣氛腔（7）的進(jìn)氣口相連。該系統(tǒng)能為原子力顯微鏡提供不同氣體、各種比例組成的可控混合氣氛，從而使原子力顯微鏡能進(jìn)行各種比例的不同氣體組成的混合氣氛下微機(jī)電系統(tǒng)的磨損失效、防護(hù)機(jī)理的模擬試驗(yàn)與研究，從而為相應(yīng)混合氣氛工作中的微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造與維護(hù)提供更準(zhǔn)確、可靠的試驗(yàn)依據(jù)，以降低微機(jī)電系統(tǒng)的磨損，提高微機(jī)電系統(tǒng)的使用壽命。

1.產(chǎn)品介紹 AA-1800EL型原子吸收光譜儀是采用國(guó)際新的技術(shù)和國(guó)內(nèi)高校的專家聯(lián)手研發(fā)完成，擁有幾十年光譜儀器的研發(fā)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。該產(chǎn)品包括火焰、石墨爐及氫化物發(fā)生系統(tǒng)，可配置多種附件，靈活的配置方案可滿足不同層次客戶的需求。全自動(dòng)多功能AA-1800EL型原子吸收光譜儀可進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析，多種分析方法可自動(dòng)切換，做到無(wú)人全自動(dòng)分析。 AA-1800EL型原子吸收光譜儀廣泛應(yīng)用于科研、質(zhì)檢、疾控、環(huán)保、冶金、農(nóng)林、化工等行業(yè)，創(chuàng)新的軟、硬件設(shè)計(jì)確保樣品分析的準(zhǔn)確性、安全性、易用性，儀器維護(hù)簡(jiǎn)單便捷。   性能特點(diǎn) 2.1. 全反射消色差光學(xué)系統(tǒng)。 色散率為1800條/毫米刻線大面積光柵，新型自準(zhǔn)直單色器，所有鏡片均是石英鍍膜，寬廣的檢測(cè)范圍和光學(xué)穩(wěn)定性確保了分析的精度、閃耀波長(zhǎng)230nm光柵分光系統(tǒng)。 2.2. 八燈燈座 一燈工作，最多可以七燈預(yù)熱，節(jié)省了換燈和預(yù)熱時(shí)間，使元素測(cè)量更加快捷方便。 2.3. 全自動(dòng)化 儀器采用全自動(dòng)設(shè)計(jì)，除主機(jī)電源開關(guān)外，儀器的燈架控制、波長(zhǎng)掃描、狹縫調(diào)節(jié)以及二維移動(dòng)平臺(tái)等功能全部通過(guò)軟件控制完成。 2.4. 背景校正系統(tǒng) 具備氘燈與自吸收兩種背景校正模式，背景信號(hào)1A時(shí)，扣背景能力60倍以上。 2.5. 自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，功能完善，性能強(qiáng)大的分析軟件 人性化的操作界面，讓您的操作易如反掌，可切換中英文Windows風(fēng)格軟件界面，全自動(dòng)定性、定量分析，自動(dòng)計(jì)算元素含量，自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告。 2.6. 火焰系統(tǒng)特點(diǎn) 2.6.1. 高分子霧化室 高分子材料抗腐蝕霧化室，耐酸堿，包括氫氟酸，無(wú)論是有機(jī)或是無(wú)機(jī)溶液都能得到較好的靈敏度和穩(wěn)定性； 2.6.2. 鈦燃燒器 鈦燃燒器，可選配50mm和100mm燃燒器，空冷預(yù)混合型，耐腐蝕，耐高鹽，大幅度提高火焰的效率和火焰分析的準(zhǔn)確度； 2.6.3. 高精度防堵塞霧化器。 高效型霧化器，霧化效率高，維護(hù)更換方便。 2.6.4. 質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)乙炔流量控制。 質(zhì)量流量控制器精確控制乙炔流量，精度達(dá)1ml/min，并對(duì)流量進(jìn)行動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，使用方便，安全可靠。 2.6.5. 更多的安全保護(hù)措施，使樣品分析更加安全可靠。 采用高靈敏度探測(cè)器，對(duì)乙炔泄露進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)； 采用高精度的壓力傳感器，對(duì)乙炔壓力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)視； 采用高精度的壓力傳感器，對(duì)乙炔壓力進(jìn)行空氣壓力監(jiān)視； 采用微動(dòng)開關(guān)及防火插銷，對(duì)燃燒頭狀態(tài)監(jiān)視； 采用光敏二極管，對(duì)火焰狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)視；   2.7. 石墨爐系統(tǒng)特點(diǎn) 2.7.1. 一體化設(shè)計(jì)。 石墨爐電源、原子吸收主機(jī)位于一臺(tái)儀器內(nèi)，縮短了電纜長(zhǎng)度，減少了石墨爐電源對(duì)外界的電磁干擾、提高了石墨管加熱效率。 2.7.2. 石墨爐控溫精度高，升溫速度快。 采用大功率變壓器、微阻電纜線以及光控升溫方式，并配合軟件、硬件溫度校正系統(tǒng)，高溫段控溫精度可達(dá)±1%。 2.7.3. 更多的安全保護(hù)措施，使樣品分析更加安全可靠。 石墨爐冷卻水具有流量實(shí)時(shí)監(jiān)視和保護(hù)； 2.7.4. 通過(guò)壓力傳感器對(duì)載氣壓力監(jiān)視 通過(guò)光敏二極管對(duì)石墨爐溫度監(jiān)視 2.7.5. 自動(dòng)載氣流量控制。 石墨爐內(nèi)氣，外氣全部由計(jì)算機(jī)根據(jù)軟件升溫流程自動(dòng)控制。 2.7.6. 150位轉(zhuǎn)盤式石墨爐自動(dòng)進(jìn)樣器。 極坐標(biāo)轉(zhuǎn)盤式石墨爐自動(dòng)進(jìn)樣器，定位精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，使用維護(hù)方便。   數(shù)據(jù)處理 高智能軟件，功能強(qiáng)大，友好的中文操作界面。全自動(dòng)儀器及附加控制，火焰、石墨爐工作模式可自動(dòng)切換，可自動(dòng)優(yōu)化，自動(dòng)稀釋；鼠標(biāo)操作，自動(dòng)設(shè)定菜單數(shù)據(jù)和校正方法； 石墨爐分析時(shí)，系統(tǒng)會(huì)給出全過(guò)程分析信息，包括測(cè)量值、溫度、程序、時(shí)間等， 并保存積分時(shí)間內(nèi)所有測(cè)量的信號(hào)曲線和溫度曲線；測(cè)量數(shù)據(jù)可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)顯示。標(biāo)準(zhǔn)曲線可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)擬和；樣品測(cè)量準(zhǔn)確：采用向?qū)У姆绞綄?duì)樣品進(jìn)行設(shè)置，方便快捷；靈敏度校正功能：使測(cè)量的結(jié)果更為準(zhǔn)確；參數(shù)打印，數(shù)據(jù)結(jié)果打印，圖形打印，可導(dǎo)出WORD、EXCEL文檔.

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