一種ZnGeP2晶體的腐蝕劑,由冰醋酸、氫氟酸、硝酸、碘和純凈水配制而成,冰 醋酸、氫氟酸、硝酸、純凈水的體積比為:冰醋酸∶氫氟酸∶硝酸∶純凈水=1∶2∶2∶ 1,碘的質量∶冰醋酸體積=4∶1。一種ZnGeP2晶體的腐蝕方法,使用上述腐蝕劑,工 藝步驟依次為:(1)腐蝕,將ZnGeP2晶片浸入腐蝕劑中,在超聲波振蕩下于常壓、室 溫腐蝕4~16分鐘取出;(2)清洗,將從腐蝕劑中取出的ZnGeP2晶片浸入反應終止液 中擺動清洗終止反應,再用純凈水清洗至中性,所述反應終止液由質量濃度5%的NaOH 和質量濃度為3%的Na2S2O3配制而成,NaOH與Na2S2O3的體積比=1∶1;(3)干燥。
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