本發明公開了一種基于超材料結構的微波功率傳感器,包括基板、輸入微帶信號線、懸臂梁結構輸入微帶信號線、懸臂梁結構輸出微帶信號線、輸出微帶信號線、叉指結構、開路短截線電感以及微帶線地線,該微波功率傳感器是在基板上放置由懸空的叉指結構和開路短截線電感構成的超材料結構,當輸入的微波功率發生變化時,微波功率對相互平行、懸空的叉指結構的吸引,導致叉指結構的位移,從而使得叉指電容和開路短截線電感構成的超材料結構產生相應的相移輸出,通過檢測超材料結構的相移,實現微波功率的測量,本發明靈敏度高,且為相移輸出,測量誤差小,同時還具有結構簡單、成本低、體積小、功耗低、工藝兼容等優勢。
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