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一種寬量程高精度集成雙膜電容式壓力傳感器及制作方法

2021-04-11 00:00:00
云上高博會 http://www.g2h0uzv.xyz
關鍵詞: 高精度集
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本發明涉及壓力傳感器技術領域,特指一種寬量程高精度集成雙膜電容式壓力傳感器及制作方法,包括玻璃襯底,玻璃襯底上設有淺槽一與淺槽二,淺槽一與淺槽二通過細槽連通,淺槽二中心位置設有淺槽通孔,淺槽通孔從淺槽二底面延至玻璃襯底底面,淺槽一上設有可測量低壓差的電容C1,淺槽二上設有可測量高壓差的電容C2,可測量低壓差的電容C1包括底電極板與薄壓力敏感膜,可測量高壓差的電容C2包括厚壓力敏感膜與頂電極板,淺槽通孔通過細槽與可測量低壓差的電容C1對應設置,淺槽通孔通過淺槽二與可測量高壓差的電容C2對應設置。本發明通過可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2分別實現了壓力在低壓段與高壓段的高精度測量。

項目階段:
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