成熟度:技術(shù)突破 一種安全、可靠、光強(qiáng)穩(wěn)定的數(shù)字化超高壓汞燈曝光光源控制器,驅(qū)動功率高達(dá)3kW,功率調(diào)整步長小于5W,光強(qiáng)穩(wěn)定性誤差不高于0.3%@30min,汞燈觸發(fā)成功率高于90%。 意向開展成果轉(zhuǎn)化的前提條件:中試放大及產(chǎn)業(yè)化工藝開發(fā)資金支持