近年來，隨著光學技術的快速發展，光學元件的加工精度要求不斷提高，超精密對刀技術成為提升加工效率和質量的關鍵環節。在光學制造領域，單點金剛石車削（SPDT）技術被廣泛應用，用于加工透鏡、反射鏡和微透鏡陣列等高精度光學元件。然而，對刀誤差會顯著影響加工精度，傳統對刀方法難以滿足現代光學元件的高精度需求。本成果所述裝備可顯著降低加工表面的面形誤差，提升光學元件的加工精度。

超精密切削加工所用的金剛石刀具具有極其鋒利的刀刃，接觸式對刀方法雖然能夠實現高精度對刀，但容易造成刀刃崩刃失效；現有非接觸式對刀方法的對刀系統復雜、對刀誤差大、應用場景有限，難以滿足超精密切削加工高精度對刀需求。為了實現金剛石刀具和工件表面的非接觸式高精度對刀，提出了基于在位膜厚測量的精準對刀方法。該方法原理是在工件表面制備薄膜材料，并采用金剛石刀具對薄膜材料進行車削加工，通過測量薄膜厚度實現金剛石刀具和工件表面對刀間距的精準測量，進而實現金剛石刀具的非接觸式精準對刀。

此外，超精密對刀裝備還可用于加工復雜的光學結構，如自由曲面和微納結構，這些結構在光學系統中具有重要應用。

潛在用戶：

（1）精密光學元件制造商：該裝備可應用于加工批量制造光學元件的模具以及各類高精度機械零部件，提升產品的加工精度和整體性能。

（2）航空航天企業：將該裝備應用于航空零部件的加工，提升產品的性能和質量。

（3）半導體企業：利用該裝備提高芯片制造的精度和效率，增強市場競爭力。

（4）醫療器械制造商：通過該裝備加工高精度醫療器械零部件，滿足醫療行業的需求。

合作對象：

（1）光學元件制造企業：協助完成高精度光學元件批量化制造。

（2）航空航天企業：共同開發高精度航空零部件加工技術。

（3）半導體企業：合作提升芯片制造的精度和效率。

（4）醫療器械制造商：共同研發高精度醫療器械加工工藝。

（5）科研機構：開展超精密加工技術的研究與開發，推動技術進步。

（6）高校：合作培養相關專業人才，為行業發展提供技術支持。

圖1.基于在位膜厚測量的精確對刀方法流程