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衍射光學光束整形技術

2023-01-06 10:09:56
云上高博會 http://www.g2h0uzv.xyz
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所屬領域:
新一代信息技術
項目成果/簡介:

1.痛點問題

激光廣泛應用在制造、傳感、醫療、科研、軍事等諸多領域。對不同應用,除功率、波長、模式等有不同要求外,對激光光斑形狀也逐漸提出整形要求,以適應性能不斷提高的制造、傳感等需求。例如在激光焊接、激光退火、激光剝離等需要圓形、矩形(方形)、線形且平頂分布的光斑;在激光打孔、激光切割等需要軸向多焦點、長焦深分布的光斑;在激光熱負荷模擬或激光熱處理中,需要特定形狀和光強分布的光斑以匹配復雜零件并模擬實際工況等。

衍射光學是實現光束整形的重要技術手段,但在國內尚未廣泛應用,例如在激光制造領域,大多系統直接利用激光聚焦光斑,少部分利用微透鏡陣列、微柱鏡陣列等折反射器件進行光束整形,但這種方案所能實現的光束整形通常是產生圓形、方形或矩形光斑,不能實現任意形狀的光斑。此外,整形光斑邊緣較為平緩不夠陡峭,平頂性能不夠好,存在較大的光強起伏;受限于設計與制造,按照傳統方法設計,衍射光學整形光斑尺寸受限,通常包含大量散斑,且存在明顯的中心零級等,或者減小線寬至數個波長以產生大角度光束整形光斑,但數個波長的線寬無法利用國產設備進行制造。

2.解決方案

本成果的衍射光學器件(DOE),是基于光的標量衍射理論,利用計算機輔助設計、并用大規模集成電路制作工藝,在基片上(或傳統光學器件表面)刻蝕產生兩個或多個臺階深度的浮雕結構,形成純位相、同軸再現、具有高衍射效率的一類光學器件。利用衍射光學器件已實現了諸多功能,包括光束整形、點陣產生(包括大角度、超分辨等)、長焦深(包括中空、軸上多焦點)等,為激光制造、三維測量、超分辨顯微成像、流式細胞儀等系統提供新穎解決方案。創新性地采用球面波入射(或折衍混合)、特定振幅相位約束等方法,擴大了有效衍射場,對入射波前畸變、加工誤差不敏感;抑制了散斑,提高了光束整形性能,提升了數字全息顯示的分辨率;實現了大角度任意點陣、白光點陣等;實現了不同排列形狀的超分辨點陣;實現了多種長焦深、中空長焦深、軸上多焦點等軸向光場分布。

3.合作需求

以專利許可、技術轉讓、技術入股等方式進行合作,特別是具有國內高端激光制造設備公司相關資源的優先考慮,確定應用場景,研制衍射光學光束整形器件、模組和系統。

項目階段:

初期階段聚焦于激光制造光束整形,第一步是基于本項成果開發器件和模組,目標客戶包括國內激光加工設備公司等;第二步是系統集成,目標客戶包括OLED柔性屏面板制作公司等。在后續發展過程中將持續不斷地與消費電子領域的公司接觸,力爭有所切入。

效益分析:

以色列Holoor是全球第一家提供商用衍射光學器件的企業,成立于1989年,經過二十余年的發展,Holoor以提供商業用途的DOE實現對激光能量分布的各種調制,例如激光分束、激光聚焦、激光采樣、激光整形、平頂光斑、軸向多焦點、長焦深、勻光擴散、雙波長等各種對激光能量分布的控制,理論上可以生成任意激光圖形。

國內已有不少公司從事衍射光學器件的研制及系統應用,但主要專注于器件加工、或者主要專注于人臉識別、AR等領域,且在設計時,通常采用商用軟件進行設計,功能較為局限,性能不夠優良,在大角度光束整形、散斑抑制、非激光光源光束整形等方面尚未見報導。

本成果在以下三個方面具有競爭優勢:

1)獲得更好的衍射光學光束整形性能;

2)利用球面波或其他非準直光束入射,可實現大角度(同等傳輸距離的大尺寸)光束整形;

3)利用白光LED或其他寬光譜光源,實現光束整形。

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