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一種氦氖雙頻激光器頻差產(chǎn)生和賦值方法

2022-03-22 10:48:04
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關(guān)鍵詞: 激光技術(shù)
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所屬領(lǐng)域:
新一代信息技術(shù)
項(xiàng)目成果/簡介:

1. 痛點(diǎn)問題

雙頻激光干涉儀以雙頻激光器作光源。國內(nèi)外,都是在氦氖激光管上加磁場,磁場和原子相互作用(塞曼效應(yīng)),使氦氖激光器輸出雙頻,這就是激光教科書中的塞曼效應(yīng)雙頻激光器,常簡稱為雙頻激光器。國內(nèi)外嘗試用半導(dǎo)體激光器和固體微片激光器的努力都沒有成功。塞曼效應(yīng)雙頻激光器的缺點(diǎn)是雙頻的間隔(頻差)小,且光子電場振動為圓偏振,前者影響干涉儀測量速度,后者帶來幾納米十幾納米的非線性誤差,這就是塞曼效應(yīng)雙頻激光器的天花板。本項(xiàng)目課題組曾經(jīng)嘗試用晶體石英,外加力的應(yīng)力雙折射使氦氖激光器產(chǎn)生雙頻,但其組裝方式等不夠理想,穩(wěn)定性需提高,產(chǎn)品化困難。

2. 解決方案

鑒于塞曼效應(yīng)雙頻激光器性能提高遇到的瓶頸,本項(xiàng)目提供一種用激光內(nèi)雕技術(shù)使激光器輸出頻率差,其賦值精確,裝配不帶來不穩(wěn)定。本項(xiàng)目雖然是氦氖雙頻激光器制造過程中的一個工藝或物理過程,但在精密測量領(lǐng)域意義重大,影響深遠(yuǎn)。

合作需求

尋求本領(lǐng)域合適的合作伙伴,把這種采用新工藝的雙頻激光器裝于干涉儀,并把這種雙頻激光干涉儀推向市場。

應(yīng)用范圍:

本項(xiàng)成果提高了雙頻激光干涉儀的性能,在先進(jìn)制造業(yè)(包括光刻機(jī))不可或缺。

項(xiàng)目階段:

本項(xiàng)目技術(shù)較成熟,技術(shù)產(chǎn)品可用于光刻機(jī)、精密機(jī)床等精密測量的領(lǐng)域,基于本技術(shù)的激光干涉儀已有少量客戶,接下來擬進(jìn)行市場推廣、擴(kuò)大產(chǎn)銷量。

效益分析:

國內(nèi)外唯一。有和塞曼效應(yīng)雙頻激光器競爭的優(yōu)勢。只是塞曼效應(yīng)雙頻激光器已有50年的歷史,把本項(xiàng)目的技術(shù)優(yōu)勢轉(zhuǎn)化成市場優(yōu)勢需要時間。

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