本發(fā)明公開一種產(chǎn)生近似圓偏的極紫外相干光源的方法,所述方法包括步驟:S1、對線性偏振入射激光進(jìn)行增強(qiáng)使其強(qiáng)度量級達(dá)到10<sup>13</sup>~10<sup>14</sup>W/CM<sup>2</sup>;S2、將增強(qiáng)之后的入射激光與雙原子氣體分子進(jìn)行相互作用產(chǎn)生諧波,所述諧波波譜具有兩個不同方向的分量,調(diào)整所述線性偏振入射激光的偏振方向與分子軸的夾角,直至獲取產(chǎn)生光源所需的諧波階段,所述諧波階段內(nèi)諧波波譜分量能量強(qiáng)度相等
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