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一種三自由度超精密微動工作臺
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.g2h0uzv.xyz
關(guān)鍵詞：
超精密微動工作臺
所屬領(lǐng)域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種三自由度超精密微動工作臺，該工作臺 X、Y和θ方向的運(yùn)動由四個垂直布置在微動臺外框架和內(nèi)框架的直線電機(jī)提供，直線電機(jī)的動子安裝在外框架的內(nèi)側(cè)，直線電機(jī)定子安裝在內(nèi)框架外側(cè)。外框架由安裝在外框架底部四角的四個圓形氣浮軸承實(shí)現(xiàn)垂直方向的支承，內(nèi)框架分別由環(huán)形氣浮軸承和圓形真空預(yù)緊吸盤實(shí)現(xiàn)垂向的支承。微動臺的位置信息由垂直安裝在載物平臺上的第一、第二平面配合激光干涉儀測量。本發(fā)明所提出的一種三自由度超精密微動工作臺可實(shí)現(xiàn)大負(fù)載、大慣量、高精度的運(yùn)動，該平臺 X 和 Y 向的行程為 2mm，
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