本發明公開了一種倒裝鍵合設備中用于各向異性導電膠的熱壓裝置,用于倒裝鍵合設備中對導電膠進行熱壓,其特征在于,該熱壓裝置包括:壓頭組件(2),用于對導向膠進行熱壓;導向組件(1),其設置在一支撐基座(4)上,所述壓頭組件(2)設置在該導向組件(1)上,所述壓頭組件(2)通過該導向組件(1)進行導向移動以完成熱壓;驅動組件(5),其設置在所述導向組件(1)一側,用于驅動所述導向組件(1)直線移動,以實現其對壓頭組件(2)的導向移動。本發明的裝置能夠方便的實現熱壓工藝中的熱壓過程,并且具備壓力穩定性和精度
掃碼關注,查看更多科技成果