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一種具有高傳輸效率可快速連續(xù)調(diào)節(jié)能量的降能器

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 降能器
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本發(fā)明公開了一種具有高傳輸效率可快速連續(xù)調(diào)節(jié)能量的降能 器,包括碳化硼能量粗調(diào)單元、石墨能量精調(diào)單元、束流準(zhǔn)直器組、 運(yùn)動控制模塊、真空模塊;碳化硼能量粗調(diào)單元實(shí)現(xiàn)能量的初級步進(jìn) 調(diào)節(jié),提高了束流傳輸效率;石墨能量精調(diào)單元可實(shí)現(xiàn)束流能量的連 續(xù)精準(zhǔn)調(diào)節(jié);準(zhǔn)直器組可對束流發(fā)射度進(jìn)行有效抑制,通過改變孔徑 實(shí)現(xiàn)了發(fā)射度的選擇;運(yùn)動控制模塊可分別對碳化硼和石墨能量調(diào)節(jié) 單元進(jìn)行快速運(yùn)動控制,保證了能量的快速調(diào)節(jié);真空模塊創(chuàng)造并維 持了真空環(huán)境。本發(fā)明的降能器可以實(shí)現(xiàn)束流能量的高傳輸效率、快 速、連續(xù)調(diào)節(jié),

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