一種激光快速分離光學晶體方法及裝置

高端裝備制造

本發明公開了一種激光快速分離光學晶體方法，該方法先利用

超快激光或微型金剛石砂輪對光學晶體進行分離方向設置，在分離開

始端形成一條方向沿待分離路徑的預制微裂紋；再利用聚焦激光對預

制微裂紋進行掃描加熱，形成激光誘導微裂縫；沿著待分離路徑快速

移動聚焦激光，直至激光移動速度與裂縫擴展速度相同，使聚焦激光

始終跟隨著微裂縫最前端，并使微裂縫兩側材料發生熱膨脹效應，在

微裂縫尖端產生前向擠壓和側向拉應力，將晶體材料拉開，最

未應用