本發(fā)明公開了一種氧化鋁陶瓷的刻蝕加工方法及裝置,該方法
使?jié)崈舻难趸X陶瓷整體位于水中,水表面到氧化鋁陶瓷材料表面距
離為 2mm~12mm,利用紫外脈沖激光對氧化鋁陶瓷進(jìn)行掃描刻蝕加
工,刻蝕加工后的氧化鋁陶瓷表面無發(fā)黑變質(zhì)層和重凝層。裝置包括
紫外激光器、掃描振鏡,二維加工平臺(tái),以及用于裝水和待加工的氧
化鋁陶瓷的容器。本發(fā)明巧妙的引入“水”的因素,在一定厚度或一
定流速的水下對氧化鋁陶瓷進(jìn)行激光刻蝕的冷卻和排渣
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