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基于石墨烯-碳納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的熱噴印頭及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.g2h0uzv.xyz
關(guān)鍵詞：
熱噴印頭
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開了一種基于石墨烯-碳納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)的熱噴印頭及
其制備方法，采用 ICP 工藝以及 PDMS 填充深溝的表面平坦化工藝，
在硅片襯底上制備主通道、噴墨腔室、進(jìn)墨通道、噴嘴、噴墨通道；
采用陽極鍵合工藝，以石墨烯碎片作為中間層，將玻璃基底和硅片襯
底鍵合。主通道和噴墨腔室通過進(jìn)墨通道連通，進(jìn)墨通道深度小于噴
墨腔室深度；噴嘴設(shè)置在噴墨腔室底部；碳納米管-石墨烯復(fù)合結(jié)構(gòu)微
氣泡發(fā)生器陣列和碳納米管溫度傳感器陣列
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