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一種半導體電阻式氣體傳感器及其制備方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.g2h0uzv.xyz
關鍵詞: 氣體傳感器
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所屬領域:
高端裝備制造
項目成果/簡介:

本發明公開了一種半導體電阻式氣體傳感器及其制備方法。氣

體傳感器包括絕緣襯底、信號電極和氣敏層;氣敏層由半導體納米晶

復合材料和石墨烯構成。利用膠態法合成半導體納米晶溶液,能在室

溫下直接成膜,不需要經過高溫處理,能耗小,且不會造成納米顆粒

的團聚,能夠最大限度地發揮納米顆粒比表面積大的優勢,有利于氣

體吸附,提高傳感器的靈敏度,使傳感器能在較低的工作溫度甚至常

溫下檢測低濃度目標氣體。制備方法簡單,易于實現大規模批

項目階段:
未應用
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