聲表面波(SAW)器件由壓電材料、叉指換能器(IDT)和振蕩電路構成。SAW器件已經廣泛地應用于通信、雷達、電子對抗、廣播電視等民用和軍用領域中。
由SAW器件可以構成的多種傳感器,其原理是器件周圍物理量、化學量和生物量的變化引起SAW器件振蕩頻率的偏移,通過檢測頻率的變化來監測加速度、溫度、濕度、壓力、剪切、彎曲等參量。
SAW傳感器具有獨特的優點。與常用的半導體氣敏傳感器相比,它不受溫度影響,靈敏度高,穩定性好;設計結構靈活,對電、熱、力、聲、光、化學及生物等多種因
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