拋光是一種常見的表面加工技術,主要目的是降低表面粗糙度、去除損傷層,最終獲得光滑且無損傷的高質量表面。無論是日常生活中的消費用品還是制造技術高度集成的半導體芯片,拋光加工都是保證表面質量不可或缺的技術手段。近年來,在金屬材料超精密加工領域,具有復雜外形和內腔的金屬零件的拋光一直是工業(yè)界所面臨的技術難題。傳統(tǒng)的諸如化學機械拋光、激光拋光以及磁流變拋光