高性能觸覺傳感器是下一代智能化服務機器人的核心模塊,是人-機物理接觸、交互協作的關鍵信息入口,是學術前沿熱點和工業技術難點,是我國35項 “卡脖子”技術之一。本團隊基于微納尺度雙電層電容原理,解決了傳統陣列傳感器空間分辨率、信噪比、靈敏度、量程、大測量面積等之間的技術矛盾,研制了具備大測量面積(單片600 mm ×