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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)具有體積小、重量輕、成本低、可靠度高等特點(diǎn), 在航空、航天、汽車、消費(fèi)電子等領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用價(jià)值。MEMS設(shè)計(jì)過程 復(fù)雜,高效的設(shè)計(jì)工具現(xiàn)已成為制約我國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。設(shè)計(jì)工具 分為系統(tǒng)級(jí)、器件級(jí)、工藝級(jí)三個(gè)設(shè)計(jì)層級(jí),并具有三個(gè)層級(jí)之間的全部 數(shù)據(jù)傳遞接口,支持不同工程背景的設(shè)計(jì)者任意入口,任意流程的設(shè)計(jì), 該設(shè)
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