掃描數字剪切散斑干涉儀利用激光散斑剪切干涉和線陣CCD掃描原理, 將激光束擴束后照射在具有光學粗糙的物體表面,并以線陣CCD掃描記錄 待測物體表面變形前后的剪切散斑像,進而利用數字圖像處理技術,獲 得反映物體表面形變的數字剪切散班干涉圖樣,由該圖樣可以獲得物體 表面形變信息或相關區域的缺陷特征,實現無損檢測目的。基于特殊設 計的微位移移動軌道和CCD掃描技術的應用,以及剪切鏡的靈活設計,可 以有效增大測量視場并提高缺陷檢測靈敏度。 該