本成果包括系列基于硅基或SOI基材料的高壓集成技術(shù),可用于700V AC-DC電源管理IC、600V/1200V高壓柵驅(qū)動IC、不同電壓需求的高壓開關(guān)IC、D類功率放大器、電機驅(qū)動IC等的研制,滿足照明、工業(yè)控制、汽車電子、電機驅(qū)動、消費電子等領(lǐng)域的需求。具體包括: 硅基:(1)超低比導(dǎo)通電阻700V單晶型BCD工藝;(2)600V外延型BCD工藝;(3)1200V外延型BCD工藝;(4)48V高功率BCD工藝;(5)40V高壓雙極型工藝。 SOI基:(1)600V 厚層SOI BCD工藝;(2)650V薄層SOI高壓CDMOS工藝;(3)300V薄層SOI高壓CDMOS工藝;(4)200V薄層SOI高壓CDMOS工藝;(5)100V薄層SOI高壓CDMOS工藝;(6)40V薄層SOI高壓CDMOS工藝;(7)-200V SOI高壓CDMOS工藝;(8)-100V SOI高壓CDMOS工藝。
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