成果簡介:采用金屬波紋管作為執行元件,金屬波紋管安裝在載物臺上,將 輸入壓力變為位移的線性輸出;載物臺安裝在氣浮導軌上,氣浮導軌通過外 部輸入的壓力氣體在氣浮導軌定子和動子之間形成一層氣膜,從而形成了一 個潤滑層,使得氣浮導軌動子可以無摩擦運行,從而使氣動伺服執行器獲得 較高的運動精度和定位精度。 項目來源:自行開發 技術領域:先進制造技術 應用范圍:采用氣壓驅動的高速精密定位系統 現狀特點:國內先進<