本發明的硅基縫隙耦合式的間接式毫米波信號檢測儀器是由傳感器、模數轉換、MCS51單片機和液晶顯示四大模塊組成,傳感器由共面波導、縫隙耦合結構、移相器、單刀雙擲開關、Wilkinson功分器、Wilkinson功合器以及間接式熱電式功率傳感器所構成,整個結構基于高阻Si襯底制作,上方的兩個縫隙耦合結構實現信號的頻率測量,下方的兩個縫隙耦合結構實現信號的相位測量;Wilkinson功分器和Wilkinson功合器主要是由共面波導、非對稱共面帶線和電阻組成;間接式熱電式功率傳感器由共面波導、兩個電阻以及熱
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