本實(shí)用新型公開了一種掃描電子顯微鏡中原位高溫微觀力學(xué)測試裝置,包括控制系統(tǒng)、拉伸測試裝置、加熱裝置及固定裝置,拉伸測試裝置設(shè)置有一容置空間,加熱裝置設(shè)置于容置空間內(nèi),拉伸測試裝置與加熱裝置的底端均與固定裝置連接,固定裝置的底端與掃描電鏡的樣品支撐架固定連接;拉伸測試裝置、加熱裝置及固定裝置均設(shè)置在掃描電子顯微鏡的腔室內(nèi),掃描電子顯微鏡、拉伸測試裝置及加熱裝置均與控制系統(tǒng)電連接。本實(shí)用新型中測試裝置結(jié)構(gòu)緊湊,可方便安裝在顯微鏡中,加熱裝置的設(shè)置使測試能夠在高溫載荷條件下進(jìn)行,方便實(shí)現(xiàn)掃描電子束對高溫載荷和應(yīng)力載荷作用下測試樣品原位成像動態(tài)觀察,同時(shí)獲取同一觀察微區(qū)域中樣品的成分信息譜及晶體結(jié)構(gòu)信息圖。
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