本項目將提供一款高品質的非晶 ZnTiSnO 微型半導體氣體傳感器,為一種具有納米材料特征的薄膜型氣體傳感器,用于可燃性氣體(特別是乙醇)的檢測。該半導體氣體傳感器具有下述優點:靈敏度高、選擇性好、響應快、穩定性好、抗干擾性強、可室溫工作、易于微型化、與微電子系統兼容,而且制作工藝簡單、組裝成本低、價格低廉。
(1)半導體氣體傳感器件的核心材料為氣敏層,即非晶ZnTiSnO 薄膜,該材料質量如何直接決定了器件的性能。通過前期預研究,我們設計并合成了具有表面微納結構的絨面 a-ZnTiSnO 薄膜,如何進一步優化工藝參數,更加提升 a-ZnTiSnO 薄膜高質量,實現精確可控生長,依然是本項目擬解決的關鍵技術。
(2)氣體傳感器的實用性在于器件參數的確立,因而,通過系統研究,建立非晶 ZnTiSnO 氣體傳感器各氣敏性能與氣體參數之間的定量關系曲線,特別是室溫工作條件下的定量關系,是本項目擬解決的關鍵技術。
(3)為使氣體傳感器獲得廣泛應用,器件良好的穩定性至關重要。通過工藝優化、器件設計和封裝保護等措施,實現非晶ZnTiSnO 氣體傳感器的高穩定性和抗干擾性,使器件具有長的使用壽命,也是本項目擬解決的關鍵技術。制備出高質量非晶 ZnTiSnO 薄膜,具有均勻且均一的表面微納結構,絨度大于35%;薄膜與襯底附著力大于 21N。非晶 ZnTiSnO氣體傳感器性能指標:氣敏層尺寸 10~300μm,易于集成化;對可燃性氣體有高選擇性,其中對乙醇的敏感度最高;室溫工作條件下,對 100ppm 乙醇的響應度不低于 30;響應時間小于 1.8s,恢復時間小于 1.5s;穩定性好,有效使用壽命不低于3 年。
理論與實驗相結合,揭示出 a-ZnTiSnO 氣體傳感器室溫氣敏性能和穩定性機理,建立理論模型,闡明器件的耐候性規律。研制出具有實用價值的高品質 a-ZnTiSnO 半導體氣體傳感器,建立一套非晶 ZnTiSnO 材料生長和器件制備的完整工藝,關鍵技術擁有自主知識產權。
應用范圍:
納米氧化銅產品廣泛應用于各類抗菌、抗紫外線、空氣凈化產品中,如抗菌保鮮膜、抗菌塑料、抗菌纖維、抗菌整理液、抗菌陶瓷、抗菌地板、抗菌紡織品、防嗮化妝品、室內甲醛治理等產品中。
納米CuO應用前景
應用范圍:
五、納米氧化鋅分散液
項目 Item |
標準 Standard |
氧化鋅(W/%) ZnO |
4% |
外觀 Exterior |
乳白略顯黃色易流動液體 Milky white slightly yellow liquid |
PH |
7.2 |
分散液氧化鋅含量可以根據需要在30%以下定制
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