本發(fā)明公開了一種六自由度主動(dòng)隔振裝置,具有六自由度隔振 和定位功能。該裝置包括下平臺(tái)、上平臺(tái)和六條支腿;六條支腿分別 通過固定塊與上平臺(tái)及下平臺(tái)連接,構(gòu)成史都華并聯(lián)機(jī)構(gòu);在下平臺(tái) 上的三個(gè)固定塊的位置形成等邊三角形,在上平臺(tái)上的三個(gè)固定塊的 位置也形成等邊三角形,六條支腿結(jié)構(gòu)相同,相鄰的兩支腿互相垂直; 各支腿均包括主動(dòng)執(zhí)行器和空氣彈簧,主動(dòng)執(zhí)行器與空氣彈簧形成并 聯(lián)結(jié)構(gòu),其中空氣彈簧作為被動(dòng)隔振部件。本發(fā)明采用主動(dòng)和被動(dòng)隔 振組合方式,可實(shí)現(xiàn)超低頻的固有頻率,能對(duì)超過固有頻率的振動(dòng)進(jìn) 行有效的隔離;能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)六個(gè)自由度振動(dòng)的良好衰減,能夠?qū)崿F(xiàn)六 自由度的精確定位。
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