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清華大學微納電子器件直流電學特性測試系統采購項目
清華大學微納電子器件直流電學特性測試系統采購項目 招標項目的潛在投標人應在發售網址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn獲取招標文件，并于2022年09月09日 09點00分（北京時間）前遞交投標文件。
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包號 |
名稱 |
數量 |
是否允許進口產品投標 |
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01 |
微納電子器件直流電學特性測試系統 |
1套 |
是 |
設備用途介紹：微納電子器件直流電學特性測試系統可用于對微納電子器件（如微機電系統器件（MEMS），場效應晶體管（FETs），發光二極管(LEDs)等）施加電壓和電流信號，以及對器件的電學特性測試表征。
簡要技術指標 ：
1）探針臺：8英寸半自動探針臺，支持晶圓、芯片及單器件IV/CV測試；具備微暗屏蔽箱，可實現遮光、EMI屏蔽，支持低漏電測試，系統漏 電流100 fA左右。EMI 屏蔽 > 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz；光衰減 ≥ 130 dB；光譜噪聲基底 ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)；系統交流電噪聲 ≤ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)。
2）半導體參數測試儀：可用插槽數目≥10；測試軟件帶PC端版本，支持離線分析，且支持多個用戶，便于管理；C-V 多頻率電容單元，AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)，頻率范圍：1 KHz~5 MHz，頻率分辨率：1mHz。
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
扶持小微企業、監獄企業、殘疾人福利性企業發展，優先采購節能產品、環境標志產品等。
3.本項目的特定資格要求：1）在中華人民共和國境內注冊；2）符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規定的條件；3）通過“信用中國”網站（www.creditchina.gov.cn）和中國政府采購網（www.ccgp.gov.cn）查詢信用記錄（截止時點為投標截止時間），被列入失信被執行人、重大稅收違法案件當事人名單、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的供應商，沒有資格參加本項目的采購活動；4）不接受聯合體投標；5）單位負責人為同一人或者存在直接控股、管理關系的不同供應商，不得同時參加同一包號的政府采購活動；6）為某一包號提供整體設計、規范編制或者項目管理、監理、檢測等服務的供應商，不得再參加該包的其他采購活動；7）必須在線登記獲取招標文件，否則沒有資格投標。
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