【政府采購意向】步進式光刻機
2022-12-21 16:55:17
云上高博會
http://www.g2h0uzv.xyz
招標單位:
清華大學
招標年份:
2022 年
所屬地區:
北京北京市
招標類型:
產品招標
采購方式:
公開招標
項目概況:
采購品目:A032103電子工業專用生產設備
預計采購時間:2022-11
項目基本情況:
項目名稱:【政府采購意向】步進式光刻機
預算金額:3000 萬元
采購需求:
擬采購步進式光刻機1套,把投影掩模版上的圖形與涂膠硅片進行對準,而后從一點到另一點逐場曝光,8”及以下,分辨率0.28um,套刻35nm。其他要求:質保期至少1年。售后服務響應不超過24小時(不區分工作日和節假日)。
提交投標文件截止時間、開標時間和地點:
截止時間:2022-11-30 00:00