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【政府采購意向】離子注入機
招標單位：
招標年份：
所屬地區：
招標類型：
采購方式：
項目概況：
采購品目：A032103電子工業專用生產設備
預計采購時間：2022-11
項目基本情況：
項目名稱：【政府采購意向】離子注入機
預算金額：2800 萬元
采購需求：
擬采購離子注入機一套，用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等，支持8英寸及以下尺寸晶圓，能量范圍：2.0keV-900keV，劑量范圍：1E11~1E16ions/cm2。質保期至少1年。售后服務響應不超過24小時（不區分工作日和節假日）
提交投標文件截止時間、開標時間和地點：
截止時間：2022-11-30 00:00
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