采購品目:A03專用儀器
預(yù)計(jì)采購時間:2022-11
聚焦離子束電子束雙束顯微鏡(FIB-SEM)與飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)、共聚焦拉曼、能譜(EDS)深度集成,可以完成離子束加工,TEM樣品制備等工作,同時可以用于高分辨表面形貌分析和實(shí)現(xiàn)微區(qū)的高靈敏度成分、結(jié)構(gòu)分析以及大面積快速的三維重構(gòu)分析,可以進(jìn)行ppm級痕量元素的分析、輕元素微區(qū)分析以及快速的離子束加工,同時具有原位拉曼微區(qū)分析和快速拉曼成像的功能。同時,該設(shè)備可用于復(fù)雜材料樣品和半導(dǎo)體芯片的加工制樣工具,制備用于透射電鏡高分辨觀察的超薄試樣。
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