|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
超精密電渦流位移傳感器
成果創新點 1.溫飄、分辨率、穩定性等指標具有國際領先水平； 2.溫度自補償技術、信號源漂移自矯正技術、噪聲抑 制技術等是主要創新點。 技術成熟度 小試中試階段 市場前景 可用在大型天文望遠鏡中作為邊緣傳感器；可以用在 精密車床、電子顯微鏡、原子力顯微鏡、共焦顯微鏡等中。 轉化計劃 預期轉化方式：自主轉化尋求投資，已于天使基金接 觸。
中國科學技術大學
2021-04-14
超精密電渦流位移傳感器
1.溫飄、分辨率、穩定性等指標具有國際領先水平；
2.溫度自補償技術、信號源漂移自矯正技術、噪聲抑制技術等是主要創新點。
中國科學技術大學
2023-05-16
超精密溫度控制裝置
針對極紫外光刻機物鏡的溫管和溫控技術難題，設計和開發了針對極紫外光刻機的具有自主知識產權的超精密溫控裝置，目前已應用在半導體制造業及光刻機生產廠商、高檔數控行業和民用航天上，涉及企事業單位共30余家。研制了不同控溫精度和控溫功率的系列產品，采用主動溫度控制方法，解決了單點溫度控制穩定性和多通道溫度控制均勻性的問題；設計了具有功能模塊化的溫控層次結構，解決了超精密溫控中系統內外的擾動和時滯問題，控溫速度快；研制了大功率串聯半導體制冷模塊，結合模糊PID控制算法，提高了收斂速度、控制精度和抗擾動能力。項
電子科技大學
2021-04-14
一種兩自由度隔振與精密定位的復合主動隔振器
本發明公開了一種兩自由度隔振與精密定位的復合主動隔振器， 該隔振器包括基礎平臺(10)和負載平臺(30)，該隔振器還包括隔振單 元，其設置在所述基礎平臺(10)和負載平臺(30)之間，所述隔振單元包括沿第一方向設置的空氣彈簧(20)和第一音圈電機(25a)，所述隔振單 元還包括沿第二方向設置的可調剛度片彈簧和第二音圈電機(25b)，該 隔振器還包括定位單元，其設置在所述隔振單元的外側，所述定位單 元包括沿第一方向設置的比例壓力閥(26)，所述定位單元還包括沿第二 方向的第二音圈電機(25b)。本發明
華中科技大學
2021-04-14
金屬材料超精密加工
拋光是一種常見的表面加工技術，主要目的是降低表面粗糙度、去除損傷層，最終獲得光滑且無損傷的高質量表面。無論是日常生活中的消費用品還是制造技術高度集成的半導體芯片，拋光加工都是保證表面質量不可或缺的技術手段。近年來，在金屬材料超精密加工領域，具有復雜外形和內腔的金屬零件的拋光一直是工業界所面臨的技術難題。傳統的諸如化學機械拋光、激光拋光以及磁流變拋光
南方科技大學
2021-04-14
一種精密主動減振裝置
本發明提供了一種結構緊湊、集成度高的精密主動減振裝置，它適用于需要進行微幅振動抑制的小質量精密加工（測量）設備。該裝置主要包括既能感受振動又能對振動進行抑制的壓電塊結構、壓電塊提供垂向預壓力的折疊彈簧以及提供垂向被動隔振的柔性鉸鏈。其中，壓電塊可以采用垂直布置，也可以采用 45 度傾斜布置，采用傾斜布置的壓電塊結構可以同時測量和抑制水平向振動和垂向振動。另外，一種實現水平面隔振的減振裝置可以提供 360 度水平面的振動隔離，其內部采用線切割加工出螺旋線形槽。水平面隔振減振裝置與垂向精密主動減振裝置結
華中科技大學
2021-01-12
一種精密定位隔振平臺
本發明公開了一種定位隔振平臺，它包括定位隔振裝置和主動控制器，兩者之間通過電氣連接，主動控制器對定位隔振裝置進行位置控制和振動控制。定位隔振裝置包括分布在正三角形頂點的三支撐腿及其共同支撐的一塊負載平板。每一個支撐腿中有一個螺旋彈簧作為主要支撐部件。一個位移傳感器布置在連接板下方檢測連接板位移，負載平臺對應支撐腿的位置安裝有垂向速度傳感器。主動控制器為主從開放式結構形式，由上位控制計算機和下位執行控制器組成，保證負載平臺保持在設定位置，并有效的隔離地基振動對平臺精度的影響。本發明可廣泛應用于精密加工
華中科技大學
2021-04-14
一種精密減振組件及由其構成的減振平臺
本發明公開了一種精密減振組件及由其構成的減振平臺，具有減振和 Z 向定位功能。精密減振組件包括被動減振部件、主動減振執行器和外框架。被動減振部件采用雙腔體結構的活塞桿，氣囊和壓力腔分別位于兩個腔體內，氣囊具有較大的縱向支撐力和較低的剛度，能隔離衰減高頻的振動。主動減振執行器為直線型音圈電機，與被動減振部件并聯，根據被控對象振動狀態和位置信息，對被動對象施加作用力，帶動被控對象運動到指定的位置和對振動進行補償。至少三個精密減振組件構成的減振平臺具有多自由度減振，Z 向精確定位和調平調焦功能。本發明可用
華中科技大學
2021-04-14
強力高效多功能超精密拋光技術
1、項目簡介 本項目由江南大學留美博士后趙永武教授獨創.徹底地解決了高硬度零件和 表面帶氧化皮或銹斑零件拋光時間過長或需要多步才能完成的技術難題，填補了 國內空白。 2、創新要點 （1）拋光速度快,效率高,時間短。是國內現有拋光劑拋光速度的數倍至數 十倍以上。 （2）表面加工質量優異。經本拋光劑加工后的工件表面組織非常細膩，表 面粗糙度可達 Ra0.02,零件光亮照人,形狀精度進一步的提高,有可能省去超精 研工序。 （3）多功能化。具有去氧化皮,去銹,去油,防銹和拋光等多種功能,一步拋 光,同時完成。而國內現有的拋光劑大多需要去氧化皮和除油等多道前處理工序， 耗時費力。 （4）加工批量大。對于小零件一次可以加工成千上萬件。 （5）零件的使用性能和壽命得到明顯提高。采用本拋光劑拋光后的零件在 運轉時的振動和噪音顯著降低，而使用壽命大幅度提高。 （6）加工成本低.僅為磨削和精研成本的幾分之一。 （7）無毒無害，對環境友好,且操作方便,易于掌握。377 （8）本拋光劑既適用于螺旋振動和離心式光飾機,也適宜于滾筒和旋轉渦流 式等拋光機。 3、效益分析 對具備 10 臺機床的小型車間而言，每年凈提高產值 150 萬元以上。 4、推廣情況 軸承、紡織、汽車、摩托車，縫紉機、日用五金、建筑五金、金屬工藝品， 五金工具、模具，液壓氣動和精密機械等企業。
江南大學
2021-04-11
高檔超精密磨床及LED劃片裝備
為滿足光電通訊、光學、信息等產業中小口徑非球面光學玻璃透鏡模具產業化的需求，研制了小口徑非球面光學玻璃透鏡模具超精密數控復合機床,具備納米級精度斜軸鏡面納米磨削、斜軸磁流變研拋、在線測量補償加工等功能，為小口徑非球面光學透鏡模具的產業化制造提供可靠的裝備支撐。分辨率10nm，主軸回轉精度50nm；加工對象為微小非球面透鏡及模具；加工口徑10mm以下；加工面形狀精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。應用領域包括集成電路（IC）、發光二極管（LED）、光學光電、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、電子陶瓷、通訊、醫療器械等，能切割硅晶圓、砷化鎵、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、鈮酸鋰、氧化鋁、藍寶石等。GUI交互界面。具備接觸式測高及非接觸式測高，刀痕檢測，具有切割深度自動補償，刀片破損補償功能，能保證切割質量。
湖南大學
2021-04-11